SMH-V系列 電動直驅(qū)升降臺是納米級定位精度托舉運動Z向平臺，包括SMH115V-010 、SMH165V-020、SMH190V-035和SMH225V-050等，對應(yīng)行程分別是12mm、22mm、37mm和52mm。它是ART130XY和SMH-LM系列水平運動平臺的有效補充， SMH-V系列升降臺具有尺寸緊湊、側(cè)向高度低、定位精度和重復(fù)性優(yōu)良、最小步進精度量小、承載能力強和步進穩(wěn)定時間短等優(yōu)點。SMH-V系列升降臺采用巧妙的機械設(shè)計，在保證精度和承載能力的同時，可以有效節(jié)省安裝空間。

SMH-V系列 電動直驅(qū)升降臺雖然結(jié)構(gòu)緊湊但是有較強的驅(qū)動能力，最大負(fù)載可達60kg。配置線性放大器，帶隔振實驗室環(huán)境下，SMH-V系列平臺的在位穩(wěn)定性和最小步進量可以小于20nm，重復(fù)性優(yōu)于±200nm。主要應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的晶圓缺陷檢測、光學(xué)透鏡檢測、生物醫(yī)療和精密加工等領(lǐng)域，可以根據(jù)客戶的應(yīng)用，在不大幅增加平臺高度的前提下提供抱閘和斷電自鎖選項，也可以根據(jù)客戶需求定制更大行程和更強承載能力的高精密升降臺。

備注：

（1）平行或垂直于運動方向測量；

（2）沿軸線方向受力；

（3）適配-AS反饋，配置線性放大器；

（4）空載測試；

（5）默認(rèn)測試點位置為臺面上方25 mm，單軸指標(biāo)，多軸系統(tǒng)的性能指標(biāo)與實際載荷和工作點位置有關(guān)；

（6）其他行程可定制。