VC60-5系列 電動(dòng)直驅(qū)升降臺(tái)是納米級(jí)定位精度的托舉運(yùn)動(dòng)升降平臺(tái)，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達(dá)120Hz以上。

VC60-5系列 電動(dòng)直驅(qū)升降臺(tái)是ART130系列水平運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的有效補(bǔ)充，可以與ART130或者ART130XY組成不同的多軸配置來(lái)滿足客戶應(yīng)用，在一些需要快速聚焦的應(yīng)用中，VC60-5 的出色動(dòng)態(tài)性能使其足以滿足嚴(yán)苛的技術(shù)要求，例如，在基因測(cè)序應(yīng)用中VC60-5安裝350g負(fù)載以10Hz的正弦頻率做20μm振幅往復(fù)運(yùn)動(dòng)，運(yùn)動(dòng)過(guò)程中動(dòng)態(tài)跟隨誤差小于1μm，VC60-5實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)是0.78μm，能快速準(zhǔn)確的完成實(shí)時(shí)聚焦動(dòng)作。

VC60-5系列升降臺(tái)結(jié)構(gòu)緊湊小巧，但是有較強(qiáng)的驅(qū)動(dòng)能力，最大速度80mm/s，空載加速度可達(dá)0.5g。配置線性放大器，帶隔振實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下，VC60-5平臺(tái)的在位穩(wěn)定性和最小步進(jìn)量可以小于10nm，主要應(yīng)用于通訊領(lǐng)域的光纖耦合、半導(dǎo)體領(lǐng)域的晶圓缺陷檢測(cè)、生物醫(yī)療領(lǐng)域的基因測(cè)序等，可以根據(jù)客戶的應(yīng)用提供靈活的定制方案。

VC60-5系列升降臺(tái)最小步進(jìn)測(cè)試

10nm 步進(jìn)（配置線性放大器）

備注：

（1）平行或垂直于升降方向測(cè)量；

（2）沿軸線方向受力；

（3）適配-AS反饋，配置線性放大器；

（4）空載測(cè)試；

（5）默認(rèn)測(cè)試點(diǎn)位置為臺(tái)面前方25 mm。