位移臺是Z/Theta 兩軸一體式精密定位平臺，Z軸利用雙直線電機驅動，采用雙氣缸配重，可以根據(jù)負載重量靈活調整氣壓。Z軸選用精密交叉滾柱導軌，具備非常優(yōu)秀的性能和定位精度，空載截止頻率最大可達100Hz以上，具備很好的速度穩(wěn)定性。Theta軸采用旋轉直驅電機，配備圓形導軌和光柵，兼具高轉速和高精度。此外，Theta軸采用下沉隱藏式設計，使得ZR100整體高度較低，工作點的下降有利于保證實際應用中的精度指標。

位移臺是一款兼具點到點的靜態(tài)定位精度，同時具備非常突出的動態(tài)精度，可以適應對動態(tài)跟隨誤差要求嚴格的生物檢測或者晶圓檢測掃描應用。Theta軸采用32mm中空設計，可以用于白光共焦傳感器通過中空進行雙面檢測應用，Z軸可以根據(jù)傳感器聚焦高度實時高速調整，全面解決客戶的運動控制難題。

ZR100平臺最小步進測試

5nm最小步進（ASH反饋選項，配置線性放大器）

0.000027°（0.1角秒）最小步進測試（實驗室環(huán)境，配置線性放大器）

備注

（1）空載，需配置相應功率的放大器；

（2）適配-AS反饋，線性放大器；

（3）默認測試點位置為臺面上方25 mm，單軸指標，多軸系統(tǒng)的性能指標與實際載荷和工作點位置有關；

（4）氣缸供氣需配置空濾三聯(lián)件，必須清潔、干燥，過濾至0.25μm以下顆粒，建議使用純度為99.9%的氮氣。氣壓根據(jù)平臺實際負載重量可調；

（5）Theta軸連續(xù)旋轉氣滑環(huán)配置可定制。