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晶圓檢測(cè)運(yùn)動(dòng)臺(tái)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 無(wú)錫地心科技有限公司
  • 品牌 地心科技
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2025/8/11 11:09:26
  • 訪問(wèn)次數(shù) 18

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無(wú)錫地心科技有限公司(CORETECH)成立于2017年,專(zhuān)注微米/納米級(jí)精密運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)的研發(fā)與創(chuàng)新。

我們提供微米、納米級(jí)定位精度的核心子部件及核心子系統(tǒng),主要產(chǎn)品大類(lèi)包含:直線電機(jī)機(jī)械平臺(tái),絲杠驅(qū)動(dòng)直線臺(tái),機(jī)械直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái),多軸轉(zhuǎn)臺(tái),升降臺(tái),氣浮軸承直線臺(tái)和龍門(mén)系統(tǒng)等。

依托自主研發(fā)的11大系列、70余款核心產(chǎn)品,我們可以為半導(dǎo)體制造、生物醫(yī)療檢測(cè)、光學(xué)精密加工等領(lǐng)域提供關(guān)鍵子系統(tǒng)與核心部件。

以客戶應(yīng)用為導(dǎo)向,通過(guò)全生命周期技術(shù)服務(wù)體系,為客戶提供運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)的定制化解決方案,持續(xù)賦能客戶實(shí)現(xiàn)高精度運(yùn)動(dòng)控制的突破性價(jià)值。

位移臺(tái),直線臺(tái),轉(zhuǎn)臺(tái),升降臺(tái),平面氣浮

產(chǎn)地類(lèi)別 國(guó)產(chǎn) 產(chǎn)品種類(lèi) 電動(dòng)
價(jià)格區(qū)間 面議 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,能源,電子/電池,制藥/生物制藥,綜合

晶圓檢測(cè)運(yùn)動(dòng)臺(tái)是XYZT 4軸一體式精密定位平臺(tái),XYZ采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng),選用精密交叉滾柱導(dǎo)軌,具備非常優(yōu)秀的性能和定位精度,XY軸空載截止頻率可達(dá)120Hz以上,具備很好的速度穩(wěn)定性,在4軸疊加的臺(tái)面上方利用干涉儀5K的采樣頻率測(cè)試CUBE-4 勻速段位置誤差,每0.5mm 位置動(dòng)態(tài)跟隨誤差STD標(biāo)準(zhǔn)差小于50nm。Z軸空載截止頻率可達(dá)200Hz以上。Theta軸采用旋轉(zhuǎn)直驅(qū)電機(jī),配備圓形導(dǎo)軌和光柵,兼具高轉(zhuǎn)速和高精度。此外,Theta軸采用下沉隱藏式設(shè)計(jì),使得CUBE-4整體高度較低,工作點(diǎn)下降有利于實(shí)際應(yīng)用中提高定位精度。

此外,Z軸可在30ms內(nèi)步進(jìn)100μm,整定到±50nm。CUBE-4是一款兼具點(diǎn)到點(diǎn)的靜態(tài)精度,同時(shí)具備非常突出的動(dòng)態(tài)精度,可以適應(yīng)對(duì)動(dòng)態(tài)誤差要求嚴(yán)格的生物或者晶圓檢測(cè)掃描應(yīng)用,Z軸可以根據(jù)傳感器工作距高度實(shí)時(shí)高速調(diào)整,解決客戶的運(yùn)動(dòng)控制難題。

CUBE-4系列四軸平臺(tái)動(dòng)態(tài)性能測(cè)試

晶圓檢測(cè)運(yùn)動(dòng)臺(tái)

干涉儀5k采樣頻率動(dòng)態(tài)測(cè)試:XY勻速段位置跟隨誤差,每0.5mm STD標(biāo)準(zhǔn)差小于50nm

CUBE-4系列四軸平臺(tái)最小步進(jìn)測(cè)試

晶圓檢測(cè)運(yùn)動(dòng)臺(tái)


Z軸步進(jìn)100μm ,30ms內(nèi)整定到±50nm


晶圓檢測(cè)運(yùn)動(dòng)臺(tái)


晶圓檢測(cè)運(yùn)動(dòng)臺(tái)備注

(1)平行或垂直于楔形塊方向測(cè)量;

(2)空載測(cè)試;

(3)沿軸線方向受力;

(4)適配-AS反饋,配置線性放大器;

(5)默認(rèn)測(cè)試點(diǎn)位置為臺(tái)面上方25 mm,單軸指標(biāo),多軸系統(tǒng)的性能指標(biāo)與實(shí)際載荷和工作點(diǎn)位置有關(guān);

(6)其他行程可定制。






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