在半導(dǎo)體制造、光學(xué)元件檢測(cè)、精密加工及生物醫(yī)學(xué)研究等領(lǐng)域，表面形貌的精準(zhǔn)測(cè)量是保障產(chǎn)品性能與工藝穩(wěn)定性的核心環(huán)節(jié)。傳統(tǒng)測(cè)量設(shè)備常因技術(shù)單一、模式切換繁瑣或效率低下，難以滿足復(fù)雜場(chǎng)景下的高精度需求。Sensofar S neox三維共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀憑借其多技術(shù)融合的創(chuàng)新設(shè)計(jì)，為科研與工業(yè)用戶提供了一種高效、靈活且高精度的表面形貌分析解決方案。

技術(shù)融合：三大核心測(cè)量模式，覆蓋全場(chǎng)景需求

Sensofar S neox突破性地將共聚焦顯微技術(shù)、白光干涉技術(shù)與多焦面疊加技術(shù)集成于單一平臺(tái)，用戶無(wú)需更換硬件模塊，僅需通過軟件界面即可快速切換測(cè)量模式，實(shí)現(xiàn)從粗糙表面到超光滑表面的全覆蓋檢測(cè)。

1. 共聚焦模式
   基于高數(shù)值孔徑鏡頭（如150倍、NA 0.95），橫向分辨率可達(dá)0.10μm，可清晰解析微電子器件的臨界尺寸。其融合共聚焦掃描技術(shù)結(jié)合了共聚焦與多焦面疊加的優(yōu)勢(shì)，支持最大86°斜率表面的測(cè)量，同時(shí)保持納米級(jí)Z軸精度，適用于模具、鑄造件等工業(yè)場(chǎng)景的陡坡形貌分析。

2. 白光干涉模式
   通過垂直掃描干涉技術(shù)，提供亞納米級(jí)縱向分辨率，適用于光學(xué)元件、半導(dǎo)體晶圓等超光滑表面的檢測(cè)。即使使用低倍鏡頭（如2.5倍），仍能穩(wěn)定輸出高精度數(shù)據(jù)，滿足大視場(chǎng)下的納米級(jí)測(cè)量需求。

3. 多焦面疊加模式
   針對(duì)大粗糙度表面，該模式通過智能算法與主動(dòng)照明技術(shù)，以毫米/秒級(jí)速度完成高斜率表面的快速掃描，減少數(shù)據(jù)噪點(diǎn)，提升圖像質(zhì)量。例如，在汽車模具檢測(cè)中，可高效捕捉表面微米級(jí)缺陷，為工藝優(yōu)化提供數(shù)據(jù)支撐。

性能突破：速度與精度的雙重提升

Sensofar S neox通過硬件優(yōu)化與算法升級(jí)，顯著提升了測(cè)量效率與數(shù)據(jù)可靠性：

• 高速掃描能力：搭載500萬(wàn)像素相機(jī)與智能算法，數(shù)據(jù)采集速度達(dá)180幀/秒，典型三維圖像獲取時(shí)間僅需3秒，較傳統(tǒng)設(shè)備提升5倍以上。在半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)中，單片12英寸晶圓的完整形貌分析可在數(shù)分鐘內(nèi)完成，支持批量生產(chǎn)環(huán)境下的高通量檢測(cè)。

• 無(wú)運(yùn)動(dòng)部件設(shè)計(jì)：采用Microdisplay共焦技術(shù)，掃描頭內(nèi)無(wú)高速運(yùn)動(dòng)部件，避免了機(jī)械震動(dòng)對(duì)精度的影響，同時(shí)延長(zhǎng)了設(shè)備使用壽命。

• 真彩色還原技術(shù)：通過紅、綠、藍(lán)三色LED交替照明與像素級(jí)融合算法，生成高保真彩色共聚焦圖像，為生物材料、涂層分析提供更真實(shí)的表面信息。

智能化操作：降低使用門檻，提升工作效率

Sensofar S neox配備SensoSCAN與SensoVIEW軟件系統(tǒng)，以直觀的交互界面與強(qiáng)大的分析工具，簡(jiǎn)化復(fù)雜測(cè)量流程：

• 一鍵式測(cè)量：支持ISO 25178與ISO 4287標(biāo)準(zhǔn)粗糙度測(cè)量，用戶無(wú)需復(fù)雜參數(shù)設(shè)置即可獲取準(zhǔn)確數(shù)據(jù)。

• 自動(dòng)化分析功能：提供3D形貌重建、缺陷檢測(cè)、體積分析等工具，可自動(dòng)識(shí)別劃痕、顆粒污染等表面缺陷，并生成詳細(xì)報(bào)告。

• 智能編程與自動(dòng)化測(cè)量：用戶可通過簡(jiǎn)單操作設(shè)置測(cè)量路徑，系統(tǒng)自動(dòng)完成多位置形貌采集與數(shù)據(jù)合并，適用于環(huán)形樣品或復(fù)雜曲面的全表面檢測(cè)。

應(yīng)用案例：從實(shí)驗(yàn)室到生產(chǎn)線的價(jià)值驗(yàn)證

Sensofar S neox已在全球數(shù)百個(gè)實(shí)驗(yàn)室與生產(chǎn)線中發(fā)揮關(guān)鍵作用，以下為典型應(yīng)用場(chǎng)景：

• 半導(dǎo)體制造：某芯片廠商利用S neox檢測(cè)晶圓表面粗糙度（Ra < 0.1nm），結(jié)合多焦面疊加技術(shù)分析刻蝕深度均勻性，將產(chǎn)品良率顯著提升。

• 光學(xué)元件檢測(cè)：在激光核聚變裝置的光學(xué)鏡片檢測(cè)中，S neox精準(zhǔn)定位亞表面損傷位置，為拋光工藝優(yōu)化提供數(shù)據(jù)支持，延長(zhǎng)了鏡片使用壽命。

• 精密加工與增材制造：某3D打印企業(yè)通過S neox測(cè)量打印層厚一致性，結(jié)合共聚焦模式分析微孔深度與寬度，確保了成型精度符合設(shè)計(jì)要求。

• 生物醫(yī)學(xué)研究：在人工關(guān)節(jié)表面粗糙度分析中，S neox的高分辨率成像幫助研究人員理解表面形貌對(duì)細(xì)胞附著的影響，為植入物設(shè)計(jì)提供科學(xué)依據(jù)。

服務(wù)與支持：全球化的技術(shù)保障

Sensofar作為三維表面形貌測(cè)量領(lǐng)域，擁有豐富的技術(shù)積累與完善的售后服務(wù)體系：

• 設(shè)備校準(zhǔn)與認(rèn)證：每臺(tái)S neox出廠前均采用ISO 25178標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證的參比樣塊進(jìn)行校準(zhǔn)，并隨附完整計(jì)量報(bào)告，確保數(shù)據(jù)全球可追溯。

• 模塊化設(shè)計(jì)：支持4-12英寸樣品臺(tái)、長(zhǎng)焦鏡頭、水鏡等多樣化配置，滿足不同場(chǎng)景下的測(cè)量需求。

• 本地化服務(wù)網(wǎng)絡(luò)：在中國(guó)設(shè)有多個(gè)技術(shù)中心，提供設(shè)備安裝調(diào)試、操作培訓(xùn)與定制化解決方案，確保用戶快速上手設(shè)備價(jià)值。

結(jié)語(yǔ)：以創(chuàng)新技術(shù)，定義表面測(cè)量新標(biāo)準(zhǔn)

Sensofar S neox三維共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀通過多技術(shù)融合、高速掃描與智能化操作，重新定義了表面形貌測(cè)量的可能性邊界。無(wú)論是追求精度的科研機(jī)構(gòu)，還是需要高效質(zhì)檢的工業(yè)客戶，S neox均能提供可靠的解決方案，助力用戶在納米尺度下探索微觀世界的奧秘，推動(dòng)技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)升級(jí)。