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SCP-8LSY 桌上型半自動針筒涂布機

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藝微勝科技(EWIN-TECH)位于上海臨港新片區(qū)的張江科技港,這里是張江與臨港兩大科創(chuàng)高地交匯的核心區(qū)域,匯聚了集成電路、人工智能等前沿產(chǎn)業(yè)的重要資源。臨港自貿(mào)區(qū)作為國家新質(zhì)生產(chǎn)力的重要承載地,以其有力的政策支持、完善的產(chǎn)業(yè)生態(tài)和國際化的發(fā)展環(huán)境,為企業(yè)提供了強大的發(fā)展動能。依托這一顯著的區(qū)位優(yōu)勢,藝微勝科技深度融入?yún)^(qū)域創(chuàng)新生態(tài),持續(xù)推動技術(shù)突破與產(chǎn)業(yè)升級。

作為一家專注于新能源與半導體領(lǐng)域的創(chuàng)新解決方案服務(wù)商,藝微勝科技以“科技為動力,創(chuàng)新為使命,共贏為目標”,致力于為客戶提供優(yōu)質(zhì)的設(shè)備研發(fā)與技術(shù)方案。我們的核心業(yè)務(wù)涵蓋鋰電、氫電、光電及半導體等行業(yè)精密儀器研發(fā),原位表征系統(tǒng)集成、智能化方案定制等業(yè)務(wù)流,廣泛應(yīng)用于新能源研發(fā)、半導體制造等領(lǐng)域。憑借硬科技團隊(博士/碩士占比60%)十年以上的行業(yè)技術(shù)沉淀,我們可以為客戶提供從設(shè)備供應(yīng)到系統(tǒng)優(yōu)化的一站式閉環(huán)服務(wù)。

面向未來,藝微勝科技將進一步聚焦智能、原位、多維集成化的發(fā)展方向,推動核心設(shè)備技術(shù)升級與自主創(chuàng)新,賦能行業(yè)邁向更高質(zhì)量的發(fā)展,為廣大客戶創(chuàng)造更高價值。

固態(tài)電解質(zhì)/隔膜離子電導率全自動測試系統(tǒng)

▍產(chǎn)品簡介

藝微勝SCP-8LSY 桌上型半自動針筒涂布機,專為晶圓級涂布工藝研發(fā)與中試場景設(shè)計,適用于6英寸和8英寸基板處理。設(shè)備采用鏡面不銹鋼外殼,結(jié)構(gòu)緊湊,便于集成于實驗室環(huán)境。配備PLC自動化控制系統(tǒng)與全彩觸控操作界面,具備強大的工藝編輯、配方管理及多段式參數(shù)設(shè)置能力,精準控制旋涂全過程。適合進行光刻膠、感光膠等材料的均勻旋涂,滿足高一致性和可重復性需求。



技術(shù)特點

1.適配性強:支持6"與8"晶圓,覆蓋主流中試與實驗用基板尺寸。

2.結(jié)構(gòu)緊湊:占地小、適配桌面使用。

3.精工設(shè)計:鏡面不銹鋼機身、具排放管路系統(tǒng)及可調(diào)支腳,滿足潔凈室與實驗環(huán)境要求。

4.靈活控制系統(tǒng):采用PLC控制器+觸控屏,支持多種操作模式(制程/維修/警示/編輯/配方),一屏掌控。

5.高自由度配方管理:支持50組配方記憶,每組最多20段旋涂步驟,參數(shù)可編程(加減速、時間等),滿足復雜工藝調(diào)控需求。

6.權(quán)限管理:支持多級密碼權(quán)限設(shè)定,確保關(guān)鍵參數(shù)受控可追溯。


技術(shù)參數(shù)


桌上型半自動針筒涂布機


典型應(yīng)用


本設(shè)備廣泛應(yīng)用于半導體前道光刻制程、微電子MEMS結(jié)構(gòu)涂層開發(fā)、柔性電子材料旋涂、光電器件制備以及感光材料旋涂等工藝。尤其適用于科研實驗室、中試線和高校研發(fā)平臺對高精度、高一致性旋涂工藝的探索與驗證。









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