SCP-8LSY 桌上型半自動針筒涂布機
- 公司名稱 藝微勝科技(上海)有限公司
- 品牌 藝微勝
- 型號 SCP-8LSY
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/8/20 17:33:22
- 訪問次數(shù) 12
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▍產(chǎn)品簡介
藝微勝SCP-8LSY 桌上型半自動針筒涂布機,專為晶圓級涂布工藝研發(fā)與中試場景設(shè)計,適用于6英寸和8英寸基板處理。設(shè)備采用鏡面不銹鋼外殼,結(jié)構(gòu)緊湊,便于集成于實驗室環(huán)境。配備PLC自動化控制系統(tǒng)與全彩觸控操作界面,具備強大的工藝編輯、配方管理及多段式參數(shù)設(shè)置能力,精準控制旋涂全過程。適合進行光刻膠、感光膠等材料的均勻旋涂,滿足高一致性和可重復性需求。
▍技術(shù)特點
1.適配性強:支持6"與8"晶圓,覆蓋主流中試與實驗用基板尺寸。
2.結(jié)構(gòu)緊湊:占地小、適配桌面使用。
3.精工設(shè)計:鏡面不銹鋼機身、具排放管路系統(tǒng)及可調(diào)支腳,滿足潔凈室與實驗環(huán)境要求。
4.靈活控制系統(tǒng):采用PLC控制器+觸控屏,支持多種操作模式(制程/維修/警示/編輯/配方),一屏掌控。
5.高自由度配方管理:支持50組配方記憶,每組最多20段旋涂步驟,參數(shù)可編程(加減速、時間等),滿足復雜工藝調(diào)控需求。
6.權(quán)限管理:支持多級密碼權(quán)限設(shè)定,確保關(guān)鍵參數(shù)受控可追溯。
▍技術(shù)參數(shù)
▍典型應(yīng)用
本設(shè)備廣泛應(yīng)用于半導體前道光刻制程、微電子MEMS結(jié)構(gòu)涂層開發(fā)、柔性電子材料旋涂、光電器件制備以及感光材料旋涂等工藝。尤其適用于科研實驗室、中試線和高校研發(fā)平臺對高精度、高一致性旋涂工藝的探索與驗證。