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加熱臺(tái)主要用于CY-VTC-600-2HD雙靶、CY-VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀
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帶紅外線(xiàn)加熱的臺(tái)式提拉機(jī)旨在盡可能減少操作員的參與，以便微控制
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凈化型勻膠機(jī)廣泛用于半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等，例如對(duì)大型晶圓、芯
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CY-VTC-3DC是專(zhuān)為非金屬薄膜鍍膜設(shè)計(jì)的三頭2"射頻等離子磁控濺射系
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