上海奧法美嘉生物科技有限公司
CMP 漿液過(guò)濾測(cè)試
檢測(cè)樣品：漿料
檢測(cè)項(xiàng)目：過(guò)濾測(cè)試
方案概述：通過(guò)過(guò)濾和監(jiān)測(cè)來(lái)實(shí)現(xiàn)控制機(jī)械化學(xué)研磨液（CMP）的尾端大粒子數(shù)（LPC）,以減少晶圓表面上會(huì)降低產(chǎn)量值的微劃痕。Entegris現(xiàn)在提供正確控制CMP漿料粒度分布以大化產(chǎn)量所需的過(guò)濾器和粒度分析儀。
大限度地提高產(chǎn)量需要嚴(yán)格控制CMP漿料的粒度分布(PSD)，可以通過(guò)過(guò)濾和PSD監(jiān)測(cè)來(lái)實(shí)現(xiàn)。選擇適當(dāng)?shù)倪^(guò)濾器并放置，可以在不改變主要成分的情況下減少LPC。通過(guò)將實(shí)驗(yàn)室和/或過(guò)程中監(jiān)測(cè)與粒度計(jì)數(shù)器/分析儀相結(jié)合，可以確保高 LPC 漿料不會(huì)接觸晶片表面。在本研究中，Entegris Planargard? NMB CMP 漿料過(guò)濾器檢測(cè)兩種漿料。使用AccuSizer液體顆粒計(jì)數(shù)器系統(tǒng)進(jìn)行粒度分析，漿料的物理特性如圖所示。
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