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北京中慧天誠(chéng)科技有限公司

箱式多弧磁控鍍膜機(jī)型號(hào):YQDH-900DZX

時(shí)間:2014-3-21閱讀:532
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箱式多弧磁控鍍膜機(jī)型號(hào):YQDH-900DZX貨號(hào):ZH5497
產(chǎn)簡(jiǎn)
   該鍍膜機(jī)可鍍制不銹鋼,鉻,鎢等多種金屬,也可鍍制合金膜或化合物,也可在工件表面上鍍制單層或多層介質(zhì)膜或金屬 ZrN  TiCN  TiAIN等硬質(zhì)或裝飾涂層,具有鍍膜速度快,膜層好的優(yōu)點(diǎn)。
1     真空室:鍍膜室尺寸900×900×1000mm3  ;箱式,前開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu);
2     抽氣系統(tǒng):機(jī)械泵:前泵70L/S;維持泵:2×-8旋片泵;羅茨泵:擴(kuò)散泵:腔擴(kuò)泵;分子泵﹝選配﹞
3     限真空:5×10-4Pa; 恢復(fù)真空:5×10-3Pa﹝小于20min﹞;
4     鍍膜系統(tǒng):平面磁控靶或圓柱磁控靶/直流功率源或中頻功率源;小弧源/柱弧源;
5     輔助鍍膜系統(tǒng):脈沖偏壓電源。條形離子源﹝選配﹞。
6     膜厚測(cè)量系統(tǒng):石英晶體膜厚監(jiān)控系統(tǒng)﹝選配﹞。
7     進(jìn)氣系統(tǒng):自動(dòng)壓強(qiáng)控制+多路流量控制系統(tǒng);
8     操作方式:手動(dòng)按鍵式;自動(dòng)控型配置:研華工控機(jī),80G硬盤(pán),512內(nèi)存+日本三菱PLC;15英寸液晶顯示觸摸屏界面;
9     旋轉(zhuǎn)夾具:公轉(zhuǎn)/自轉(zhuǎn)夾具,速度從0~15r/min  可調(diào);
10    工作烘烤:室溫~300 ℃;
11    供電電源:三相380V,50HZ。

 

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