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目錄:青島森泉光電有限公司>>光學平臺>>主動隔振平臺>> STACIS III-TMC STACIS III 主動隔振系統(tǒng)

TMC STACIS III 主動隔振系統(tǒng)
  • TMC STACIS III 主動隔振系統(tǒng)
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參考價 9999
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準
9999
≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 品牌 TMC
  • 型號 STACIS III-
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 青島市
屬性

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更新時間:2024-10-08 11:19:43瀏覽次數(shù):1537評價

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TMC STACIS III 主動隔振系統(tǒng)
STACIS ® III 是一種靈活的高級主動隔振系統(tǒng)。STACIS 采用*的慣性振動傳感器、復雜的控制算法和zui 先 進的壓電致動器,通過連續(xù)測量地板活動,然后膨脹和收縮壓電致動器以濾除地板運動來實時消除振動。

TMC STACIS III 主動隔振系統(tǒng)

TMC STACIS III 主動隔振系統(tǒng)

STACIS ® III 是一種靈活的高級主動隔振系統(tǒng)。STACIS 采用*的慣性振動傳感器、復雜的控制算法和zui 先 進的壓電致動器,通過連續(xù)測量地板活動,然后膨脹和收縮壓電致動器以濾除地板運動來實時消除振動。
STACIS 最初設計用于隔離*半導體工廠中的精密微光刻、計量和檢測設備,現(xiàn)在是噪聲環(huán)境中最敏感儀器的行業(yè)標準解決方案,包括但不限于半導體工廠、故障分析實驗室、納米技術研究、納米制造設施和材料研究。

STACIS III 包括一個新的和改進的數(shù)字控制器,DC-2020。憑借新的雙核處理器和以太網(wǎng)以及前后面板的 USB 串行端口,這種新的高級控制系統(tǒng)為用戶提供了現(xiàn)代且易于使用的圖形用戶界面 (GUI)。STACIS 在全球范圍內(nèi)成功安裝了數(shù)百次,是適用于對振動最敏感的儀器的理想隔振系統(tǒng)。

優(yōu)勢:

STACIS 的硬度是空氣隔振器的數(shù)百倍,不受空氣隔振系統(tǒng)的任何限制。沒有“軟"懸架,而且與主動空氣系統(tǒng)不同,STACIS 可以放置在帶有內(nèi)部主動空氣隔離系統(tǒng)的工具下方,兩個系統(tǒng)都經(jīng)過全面優(yōu)化。

du特的串行設計和專有的高壓壓電技術
可實現(xiàn)從 0.6 Hz 到 150 Hz 的寬活動帶寬和wu與lun比的真正主動隔振,從 2 Hz 開始可減少 90% 的振動。

TMC STACIS III 主動隔振系統(tǒng)

TMC STACIS III 主動隔振系統(tǒng)

性能規(guī)格


主動自由度6個
有效帶寬0.6 赫茲 - 150 赫茲
被動固有頻率18 赫茲垂直和水平
有效主動諧振頻率0.5赫茲
1 Hz 時的隔離40% - 70%
≥2 Hz 時的隔離≥90%
10 磅(4.5 千克)階躍輸入后的穩(wěn)定時間(10:1 減少)0.3秒
內(nèi)部噪音<0.1 納米均方根
每個隔離器的工作負載范圍低容量:182-500 千克(400-1100 磅)
中容量:410-955 千克(900-2100 磅)
高容量:864-2045 千克(1900-4500 磅)
剛度(1000 磅/454 千克質(zhì)量,中等容量隔離器)40,000 磅/英寸 (73 x 10 5牛頓/米)
從隔離器發(fā)出的磁場最大為 4 英寸(102 毫米)<0.02 μG 寬帶 RMS




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