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AT810 經(jīng)濟(jì)性原子層沉積設(shè)備是小占地面積臺式系統(tǒng)。采用半導(dǎo)體級金屬密封管路以及兼容高溫的快速脈沖原子層沉積（ALD）閥。用于集成惰性氣體吹掃的超快速質(zhì)量流量...

AT610 經(jīng)濟(jì)性原子層沉積設(shè)備是小占地面積臺式系統(tǒng)。采用半導(dǎo)體級金屬密封管路以及兼容高溫的快速脈沖原子層沉積（ALD）閥。用于集成惰性氣體吹掃的超快速質(zhì)量流量...

ANRIC推出了目前市場上占地面積最小的原子層沉積（ALD）設(shè)備。AT200M 經(jīng)濟(jì)型原子層沉積設(shè)備型號體積小巧，足以放入手套箱內(nèi)，因此成為對濕氣或空氣敏感的沉...

AT410 經(jīng)濟(jì)型原子層沉積設(shè)備具備諸多優(yōu)勢：為占地小的桌面系統(tǒng)，尺寸明確；有新增功能可用的空心陰極射頻源（AT - 410 Plus 配 300W 等離子）

AT650/850P 臺式等離子原子層沉積設(shè)備，其以熱系統(tǒng)，配備新高級空心陰極源與 60 MHz RF，有低氧污染等特點(diǎn)；占地小，可容納 6 英寸及更小樣品，可...

AT 臭氧發(fā)生器采用高品質(zhì)元器件，能以極小的體型提供高濃度（最高 12%）臭氧。該系統(tǒng)無需昂貴且笨重的水冷裝置，內(nèi)置的高速風(fēng)扇即使在長時(shí)間或持續(xù)使用時(shí)，也能保持...

AT650/850T 臺式熱原子層沉積設(shè)備，具備現(xiàn)場升級為等離子體模式的能力，占地面積小（38.1 厘米，寬 15 英寸），可容納直徑為 6 英寸或更小的樣品。