高靈敏度三軸加速度傳感器，在加速度傳感器中有一種是三軸加速度傳感器，同樣的它是基于加速度的基本原理去實現(xiàn)工作的，加速度是個空間矢量，一方面，要準確了解物體的運動狀態(tài)，必須測得其三個坐標軸上的分量；另一方面，在預先不知道物體運動方向的場合下，只有應用三軸加速度傳感器來檢測加速度信號。由于三軸加速度傳感器也是基于重力原理的，因此用三軸加速度傳感器可以實現(xiàn)雙軸正負90度或雙軸0-360度的傾角，通過校正后期精度要高于雙軸加速度傳感器大于測量角度為60度的情況。

1、設備振動測量：高靈敏度系列集成加速度傳感器廣泛應用于各行業(yè)設備運行狀態(tài)監(jiān)測。設備運行時的振動量是估量設備運行是否正常的重要指標。該傳感器可以測量從直流到2kHz的振動量，輸出信號經濾波、檢波，對設備的振動大小給出精直觀的指示。

2、沖擊測量：大量應用于汽車安全氣囊和安全帶系統(tǒng)中。撞車時，傳感器受到沖擊，能在1 ms內輸出一個幅度比例于沖擊加速度的脈沖信號，當沖擊加速度達到一定值時，該信號將使安全氣囊爆發(fā)或使安全帶鎖緊，以保護乘車人的生命。

3、傾斜角測量:當傳感器傾斜放置時，傳感器的輸出為重力加速度在傳感器測量軸上的分量，即輸出與傾斜角存在反正弦的函數(shù)關系。當傾斜角較小時，近似為線性關系。