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產(chǎn)品簡介
5英寸近距離蒸發(fā)鍍膜爐是一款快速熱處理爐，其爐腔體是一直徑為11英寸的石英管。此款設(shè)備專門實(shí)際針對于熱蒸發(fā)或CSS（Close Spaced Sublimation）鍍膜實(shí)驗(yàn)，其鍍膜面積可達(dá)到5“x5“。此款高溫爐的加熱元件是兩組紅外燈管（分別位于頂部和底部），升溫速率為 20°C/s。
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品參數(shù)
| 爐體結(jié)構(gòu)和真空腔體 | 采用兩個溫度控制器，分別控制頂部和底部兩組加熱元件。安裝有浮子流量計(jì)，可向真空腔體中通入氣體 真空腔體為一高純的石英管，其尺寸為∶ 11" OD10.8 Dx9 Hmm |
| 真空法蘭 | 真空法蘭為316不銹鋼制作 頂部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個14"軟管接頭的出氣口底部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個14"軟管接頭的進(jìn)氣口法蘭是通過兩個硅膠O型圈進(jìn)行密封，用機(jī)械泵其腔體內(nèi)真空度可達(dá)10²tr，用分子泵其腔體內(nèi)真空度可達(dá)10-tor. |
| 加熱元件和載樣臺 | 由兩組紅外燈管作為加熱元件，分別位于頂部和底部 兩個加熱臺之間的距離可以通過直流電機(jī)調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)范圍為∶2-50mm 為了減少熱量輻射和達(dá)到較快的冷卻速率，加熱元件安裝在帶有水冷夾層的不銹鋼殼體中，（不銹鋼殼體采用316不銹鋼制作） 采用導(dǎo)熱率較高的氮化鋁陶瓷片（5"×5×0.5mm厚度）作為載樣臺，以達(dá)到較好的加熱均勻性底部載樣臺上可放入5"x5"的石墨坩堝來盛放蒸發(fā)原料此款儀器使用時需要配用一循環(huán)水冷機(jī)（16L/m） |
| 溫控系統(tǒng) | 兩個精密的溫控系統(tǒng)分別獨(dú)立控制上下兩個加熱區(qū)，可設(shè)置30段升降溫程序每個溫控系統(tǒng)都帶有超溫和斷偶保護(hù) FC通訊接口，軟件可安裝，可將控溫程序和溫度曲線導(dǎo)入到電腦中 |
| 工作溫度 | 工作溫度為∶800℃兩個加熱區(qū)之間的溫差頂值為300℃ |
| 加熱和冷卻速率 | 加熱速率> 8℃s（每個溫區(qū)單獨(dú)加熱）冷卻速率> 10℃/s （600.100°C） |
| 熱電偶 | 兩個K型熱電偶，安裝在頂部和底部，都與氮化鋁陶瓷片相接觸 |
| 工作電壓 | 208-240VAC，單相，（需要20A的空氣開關(guān)） |
| 功率 | 3000w |
| 可選 | 實(shí)驗(yàn)時需要一個真空泵，可與本公司選購真空泵采用機(jī)械泵可使腔體內(nèi)的真空度達(dá)到k=10E-2 torr若要使真空腔體內(nèi)達(dá)到更潔凈的工作環(huán)境，可換購無油泵 也可選購質(zhì)子流里計(jì)混氣系統(tǒng)，將實(shí)驗(yàn)所需氣體安比列混好后導(dǎo)入到真空腔體中 |
| 質(zhì)保 | 一年質(zhì)保期，終生維護(hù)（不包括密封圈、加熱元件和石英管） |
| 使用注意事項(xiàng) | 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa，使用時會更加準(zhǔn)確安全 擋爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊石英管的長時間使用溫度<1100℃ 對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于002MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） |