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產(chǎn)品簡介
OT-1200X-IR-ISL是一款雙溫區(qū)紅外加熱快速熱處理爐，其爐管直徑為4英寸，樣品臺滑軌周圍嵌有可伸縮波紋管，允許樣品在真空或氣氛保護環(huán)境下移動。此款設(shè)備可使樣品升溫速率達到50℃/S，冷卻速率達到10℃/S此款設(shè)備不僅可對樣品進行快速熱處理，還可采用HPCVD方法來生長二維晶體（一個加熱區(qū)用來盛放固體蒸發(fā)原料，另一個加熱區(qū)用于沉積樣品）。
詳細介紹
技術(shù)參數(shù)
| 爐體結(jié)構(gòu) | 雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風冷系統(tǒng)，使殼體表面溫度低于60℃采用短波紅外燈管對樣品加熱，可 達到快速加熱的效果兩個加熱區(qū)，每個加熱區(qū)長度為195mn，總加熱區(qū)長度為390mm 樣品臺滑軌周圍嵌有可伸縮波紋管，允許樣品在真空或氣氛保護環(huán)境下移動，以達到快速加熱和快速降溫的效果 |
| 電壓 | AC380V,50/60Hz 功率為24KW |
| 加熱元件 | 16根鹵素燈管（直徑10mm，長度390mm）標準使用壽命2000小時（要根據(jù)加熱速率） |
| 工作溫度 | 1100℃ (<30 mins) 1000℃（可連續(xù)工作） |
| 控溫精度 | +/-1℃ |
| 加熱速率 | 50℃/min |
| 冷卻速率 | 10℃/min，冷卻溫度范圍1000~200℃ |
| 爐管 | 高純石英管 尺寸∶垂110（OD）×重106（ID）×740（L）mm |
| 滑軌 | 材料碳鋼表面鍍Cr 滑動行程∶400mm |
| 熱電偶 | 兩個K型鏡裝熱偶規(guī)格∶1/4"Dia x 24"L |
| 溫控系統(tǒng) | 兩個溫區(qū)分別由兩個獨立的溫控系統(tǒng)控制采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升降溫程序設(shè)置有超溫和斷偶保護控溫精度為± 1℃ 設(shè)備面板上帶有RS485通 訊接口 可選購PC控制模塊，可采用電腦來設(shè)置和顯示溫度曲線 |
| 真空法蘭 | 卡箍式快速連接法蘭安裝在爐管兩端，以方便拆卸和安裝 一個直徑1/4"的鎧裝K型熱偶通過左端法蘭伸入到爐管內(nèi)部的樣品臺下端右端法蘭上帶有KF25接口，以便于連接真空泵 左端法蘭上安裝有滑軌，周圍嵌有可伸縮波紋管，允許樣品在真空或氣氛保護環(huán)境下移動 |
| 真空度 | 10^-2 torr（采用機械泵） 10~-4 torr （采用分子泵）可在本公司選購各種真空泵 |
| 尺寸 | 1000mm × 540mm× 800mm |
| 質(zhì)保 | 一年質(zhì)保期，終身維護（不包含爐管，加熱元件和密封圈） |
| 質(zhì)量認證 | CE認證 所有電器元件（>24V）都通過UL /MET /CSA認證 若客戶出認證費用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CAS認證 . |
| 使用注意事項 | 爐管采用石英管，其只能在常壓或低壓環(huán)境使用，爐管內(nèi)部壓力需φ0.02MPa（相對氣壓）若要向爐管內(nèi)通入氣體，氣瓶上必須安裝雙極減壓閥（可在本公司選購）進氣流量必須小于200SCCM<或200ml/nin） 若爐管內(nèi)部處于真空環(huán)境，其設(shè)備使用溫度不可高于1000℃ |