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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
| 特點(diǎn) | 與普通CVD相比較，其沉積溫度大大降低，減少了高溫多薄膜損壞可以通過爐體滑動(dòng)來達(dá)到快速升溫 和快速障溫的效果 爐體有兩個(gè)溫區(qū)，可在爐體內(nèi)形成溫度梯度，兩個(gè)溫區(qū)溫差為400℃管式爐工作溫度為1100℃ 帶有預(yù)熱爐，溫度為1100℃，氣體可通過此爐預(yù)熱也可將液體蒸發(fā)氣化或固體原料升華后與氣體原料混合。 |
雙溫區(qū)滑軌爐
| 連續(xù)工作溫度為1100℃ 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的1750度高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長儀器的使用壽命（點(diǎn)擊文字查看詳細(xì)資料）兩個(gè)溫控系統(tǒng)獨(dú)立控制兩個(gè)溫區(qū)，都可設(shè)置30段升降溫程序每個(gè)溫區(qū)長度為200mm總溫區(qū)長度∶ 400mm 恒溫區(qū)∶200mn（兩個(gè)溫區(qū)設(shè)置同樣的溫度）注∶由于則量手段及外部環(huán)境的影響，則里結(jié)果可能會(huì)有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請(qǐng)與我公司銷售人員 兩個(gè)溫區(qū)溫差為∶400℃爐管材料∶高純石英管 石英管尺寸∶50mm OD x 44ID x 2200mmL所需電源∶208-240VAC單相 功率∶4KW |
| 等離子射頻發(fā)生器 | 輸出功率∶ 5 -500W可調(diào)穩(wěn)定性為∶ +/-1% 射頻電源頻率∶1356MH， 穩(wěn)定性=0.005% 反向功率∶200W 射頻電源電子輸出口∶50ΩN型半導(dǎo)體. 陰極噪音∶<50 dB. 冷卻方式∶空氣冷卻 輸入電源∶208-240VAC，50/60Hz |
| 預(yù)熱爐 | 一款小型單溫區(qū)管式爐，加熱區(qū)為200mm 溫度∶ 1100℃ 可設(shè)置30段升降溫程序控溫儀表操作視頻 氣體通過等離子射頻電源前，先通過預(yù)熱爐 也可將固體和液體原料放在預(yù)熱爐中，氣化后與氣體原料相混合 |
| 防腐型數(shù)顯真空計(jì) | 測(cè)量范圍3.8x10->至 1125 Torr 當(dāng)氣壓在10mbar以上時(shí)，可獨(dú)立測(cè)量各種氣體，不必做校正（包括混合氣體）對(duì)于氣體的壓力檢測(cè)具有較高的準(zhǔn)確度和重復(fù)性信號(hào)響應(yīng)時(shí)間較短（S30ms） 因?yàn)閭鞲衅魃襄冇蟹栏繉樱跃哂休^好的抗腐蝕性 |
| 真空泵和閥 | 可以從本公司選購以下幾種真空泵 如您想獲得更高的真空度（<10-》tor orbeter）可選國產(chǎn)或進(jìn)口高真空機(jī)組配有擋板閥、波紋管和卡箍等真空配件 |
| 電動(dòng)滑軌 | 可將電動(dòng)滑軌安裝在爐體下端，將爐體署動(dòng)，以達(dá)到快速升溫和快速障溫的效果骨動(dòng)速度∶ 0-70 mm/s（可調(diào)） |
| 升溫和降溫速率 | FS485接口和控溫軟件可安裝在爐體內(nèi)，將控溫程序和溫度曲線導(dǎo)入電腦中（儀器中不包含，客戶需額外出費(fèi)用 在本公司購買） 為了獲得的升溫速率，可將爐體升溫到設(shè)定溫度，然后將爐體滑到樣品盛放位置 加熱速率 冷卻速率 15°C/sec (000-950℃C); 15°℃C/sec(RT-150°℃C) 10-C/sec(950℃.900℃C); 10℃C/sec(150℃-250°C); 7C/sec(250℃C.350℃C); 7C/sec(900℃C-850°℃); 4℃C/sec(850℃-750℃C); 4°℃C/see350℃-500°℃C); 23C/e750℃C-600°℃); 3℃C/ec350℃-550°℃C); 1.5℃C/sec (600℃C-500°℃); 2℃C/sec (550℃-650°℃); 1°C/sec (500°℃.400°℃); 1C/sec (650°C-800℃C); 0.5℃C/sec (400℃-300℃); 0.5℃C/sec (800°℃C-1000°C); |
| 可選 | 可以選購2-4通道質(zhì)子流里計(jì)混氣系統(tǒng) |
| 外形尺寸 | 爐體∶550x380x 520 mm 滑軌長度∶ 1750 mm |
| 凈重 | 220 Lbs. |
| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，終生維護(hù)（不包括爐管、密封圈和加熱元件） |
| 質(zhì)量認(rèn)證 | CE Certified |
| 使用注意事項(xiàng) | 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購喊壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa，使用時(shí)會(huì)更加安全 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊石英管的長時(shí)間使用溫度<、1100°℃C 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于002MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） |