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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
雙通道ALD管式爐系統(tǒng)是一款4英寸管式爐系統(tǒng)，包含用于原子層沉積的2個(gè)ALD進(jìn)氣閥、1個(gè)精密液體氣相發(fā)生器以及用于CVD生長(zhǎng)納米材料和薄膜材料的4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)。該管式爐系統(tǒng)簡(jiǎn)潔的設(shè)計(jì)使得更多的科研院所能夠在可負(fù)擔(dān)的低成本情況下實(shí)現(xiàn)ALD工藝實(shí)驗(yàn)。
詳細(xì)介紹
| 控制面板 | 蒸汽壓力、ALD以及氣體流量參數(shù)均可通過(guò)一6英寸接觸屏由PLC進(jìn)行控制兩個(gè)ALD進(jìn)氣閥 情點(diǎn)擊下圖查看控制面板（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料） |
| ALD進(jìn)氣閥 | 兩個(gè)ALD脈沖電磁閥（可控差在10ms完成閥門的開啟或關(guān)閉） |
| 精密液體氣相發(fā)生器 | 精密液體氣相發(fā)生器包含在本系統(tǒng)中并且連接到ALD進(jìn)氣閥 |
| 雙溫區(qū)管式爐 | 連續(xù)工作的溫度為1100℃C 兩個(gè)溫區(qū)由兩個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)來(lái)控制，而且都為PID30段程序化控溫每個(gè)加熱區(qū)長(zhǎng)度為200mm，加熱區(qū)總長(zhǎng)度為400mm如兩區(qū)域加熱至同一溫度時(shí)，恒溫區(qū)長(zhǎng)度為250mm爐管兩端放置管堵時(shí)兩溫區(qū)的溫度差為500℃輸入電壓∶ 208-240V AC，單向功率為4KW |
| 防腐型數(shù)顯真空計(jì) | 測(cè)量范圍∶ 3.8x10-5-1125 Torr耐腐蝕 對(duì)于氣體的壓力檢測(cè)具有較高的準(zhǔn)確度和重復(fù)性可實(shí)現(xiàn)快速的氣體監(jiān)測(cè)，響應(yīng)時(shí)間較短易于更換插頭及傳感元件 |
| 真空泵（選配） | 管內(nèi)真空度可達(dá)10-2Torr 真空泵不包含在本系統(tǒng)內(nèi)，如您進(jìn)行CVD實(shí)驗(yàn)可點(diǎn)擊下圖選購(gòu)無(wú)油渦旋真空泵 |
| 混氣系統(tǒng) | 可選購(gòu)氣液混合裝置，用于CVD系統(tǒng)可選購(gòu)恒溫控制模塊 |
| 更新觀念 | 您可采用ALD設(shè)備搭建等離子增強(qiáng)原子層沉積+化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（PE-ALD+CVD）和等離子增強(qiáng)原子層沉積+物理氣相沉積+化學(xué)系統(tǒng)（PE-ALD+PVD+CVD），用于生長(zhǎng)各類材料(PE-ALD+CVD) ( PE-ALD+PVD +CVD) |
| 質(zhì)保期 | 一年保質(zhì)期，終身維護(hù)（不包含爐管，加熱元件和密封圈） |
質(zhì)量認(rèn)證 | 內(nèi)置德國(guó)進(jìn)口普發(fā)泵通過(guò)ELT認(rèn)證 CE認(rèn)證 所有電器元件（>24V）均滿足UL/MET/CSA認(rèn)證 如您另付費(fèi)用，我們可保證單臺(tái)儀器通過(guò)TUV（UL61010）或CSA認(rèn)證 |
| 注意事項(xiàng) | 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為001N 0.1MPa，使用時(shí)會(huì)更加準(zhǔn)確安全 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊點(diǎn)擊此處了解如何選擇本公司石英/陶瓷管以及管式爐真空法蘭 本公司有權(quán)隨時(shí)修改PE-CVD系統(tǒng)的設(shè)計(jì)不再另行通知，但我們保證修改之后的儀器質(zhì)量可以達(dá)到和超過(guò)上述標(biāo)準(zhǔn) |