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優(yōu)測國芯電子科技(深圳)有限公司>>探針臺>> Uotest DCH-196高低溫真空探針臺

高低溫真空探針臺

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  • 型號 Uotest DCH-196
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
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  • 所在地 深圳市
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更新時(shí)間:2023-07-25 14:03:23瀏覽次數(shù):777

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產(chǎn)品簡介

高低溫真空探針臺是我司自主研發(fā)的一款在高低溫環(huán)境下給樣品加載電學(xué)信號的設(shè)備??梢栽谡婵盏沫h(huán)境中提供 -196 度的極低溫度,在特殊材料,半導(dǎo)體器件等方向具有廣泛運(yùn)用。
極低溫測試:
因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測試時(shí),空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上,會導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走,并且保持整個(gè)測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。

詳細(xì)介紹

高低溫真空探針臺產(chǎn)品簡介:

UOTEST DCH-196 探針臺是我司自主研發(fā)的一款在高低溫環(huán)境下給樣品加載電學(xué)信號的設(shè)備??梢栽谡婵盏沫h(huán)境中提供 -196 度的極低溫度,在特殊材料,半導(dǎo)體器件等方向具有廣泛運(yùn)用。

產(chǎn)品優(yōu)勢:

? 防輻射屏和熱沉設(shè)計(jì)

? 液氮自動控制系統(tǒng),液氮流量模塊和溫度控制模塊一起聯(lián)動共 同控制溫度

? 降溫速度快,常溫降至 77k<25mins,大大提高測試效率

極低溫測試:

因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測試時(shí),空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上,會導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走,并且保持整個(gè)測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。

高低溫真空探針臺詳細(xì)參數(shù):

產(chǎn)品類型

低溫開循環(huán)

低溫閉循環(huán)

型號

DCH-196

DCH-4

外形

900*900*600mm

1000*1000*600mm

重量

約100kg

約150kg

電力需求

AC220V,50~60HZ

AC380V,50~60HZ

腔體

腔體尺寸

8英寸,帶4英寸高紅外透射率觀察窗

樣品臺尺寸

2英寸/4英寸

2英寸

樣品固定方式

真空導(dǎo)熱硅脂/彈簧壓片

真空度

10^-4pa最高真空

接口形式

電信接口,真空接口,光纖接口,冷源接口等

其它

帶防輻射屏和熱沉設(shè)計(jì)

溫控系統(tǒng)

制冷方式

液氮

壓縮機(jī)

溫控范圍

77K~473K

4.2K~450K

溫控精度

± 0.1度

溫度穩(wěn)定性

± 0.1度

降溫速度

常溫降到77k優(yōu)于25mins

常溫降到10k優(yōu)于180mins

控制方式

液氮自動流量控制

壓縮機(jī)控制

光學(xué)系統(tǒng)

顯微鏡類型

體式/單筒/金相顯微鏡

體式/單筒顯微鏡

移動范圍

水平360度旋轉(zhuǎn),Z軸50.8mm調(diào)焦/定制其它

真空腔觀察窗尺寸

2inch

2inch

CCD像素

50W(模擬)/200W(數(shù)字)/500W(數(shù)字)

探針臂

探針臂數(shù)量

最多6個(gè)

X-Y-Z行程

50mm-25mm-25mm

點(diǎn)針精度

10微米/2微米

漏電精度  

10pA/100fA

接口形式

三軸/SMA/K/光纖接口

探針

頻率范圍

DC-67G

探針直接

1um/2um/5um/10um/20um可選

材質(zhì)

鎢鋼,鈹銅

真空系統(tǒng)

機(jī)械泵/分子泵組/離子泵

可選附件

防震桌,鍍金卡盤,氣敏測試組件等

應(yīng)用方向

高低溫真空環(huán)境下的芯片測試,材料測試,霍爾測試,電磁輸運(yùn)特性等

產(chǎn)品特點(diǎn)

防輻射屏和熱沉設(shè)計(jì)

液氮自動控制系統(tǒng),液氮流量模塊和溫度控制模塊一起聯(lián)動共同控制溫度

降溫速度快,常溫降至77k<25mins,大大提高測試效率


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優(yōu)測國芯電子科技(深圳)有限公司是一家致力于提供半導(dǎo)體和自動化設(shè)備綜合解決方案的自主創(chuàng)新型技術(shù)企業(yè)。我們集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)于一體,不僅擁有*的生產(chǎn)設(shè)備、加工工藝及品質(zhì)檢測體系,也擁有涉及材料、物理、化學(xué)、微電子、機(jī)械等專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)。現(xiàn)在主營的產(chǎn)品有:4寸、6寸、8寸、12寸手動探針臺、高壓大功率探針臺、真空高低溫探針臺,半自動探針臺,全自動探針臺等,可以完成I-V/C-V測試,脈沖I-V測試,RF/mmW測試,高壓、大電流測試,MEMS、光電器件等測試。專業(yè)的設(shè)計(jì)人員也可以按客戶的要求量身定制,如搭配光電流掃描成像或拉曼-瞬態(tài)熒光壽命成像系統(tǒng)、太陽能發(fā)生器、多普勒測試儀、積分球等,在常規(guī)探針臺功能上進(jìn)行延伸拓展來滿足不同客戶的測試需求。
















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