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DM系列探針臺是我司一款基于高校教育與實(shí)驗(yàn)室而研發(fā)的基礎(chǔ)型晶圓測試探針臺。其結(jié)構(gòu)緊湊，設(shè)計(jì)精密，價(jià)格實(shí)惠，在高等院校 教學(xué)和小型實(shí)驗(yàn)室科研過程中得到廣泛運(yùn)用。配合對應(yīng)的儀器儀表，可以用于測試各類器件的IV/CV,PIV,光電信號等。也可以放置于手套箱內(nèi)，配合特殊氣氛使用。一般適用于學(xué)校和工廠小型實(shí)驗(yàn)室。
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
小型分析探針臺DM4產(chǎn)品優(yōu)勢：
探針臺與顯示器一體化設(shè)計(jì)，大大減小了設(shè)備的占地空間
具備自適應(yīng)減震系統(tǒng)，一定程度上可防止外界震動的干擾
U 型平臺鍍鎳設(shè)計(jì)，不僅增大了針座的加載空間，還提高了針座平臺和針座之間的吸附力
小型分析探針臺DM4詳細(xì)參數(shù)：
技術(shù)參數(shù) 產(chǎn)品型號 | DM-4 | DM-6 | DM-8 | |
探針臺本體 | 整機(jī)尺寸 （mm） | 400L*400W*520H | 450L*450W*520H | 500L*500W*520H |
重量 | 30kg | 35kg | 50kg | |
自適應(yīng)減震系統(tǒng) | 具備自適應(yīng)減震系統(tǒng) ， 一定程度上可防止外界震動的干擾 | |||
卡盤大小 | 4 英寸，360 度轉(zhuǎn)動，可微調(diào) | 6 英寸 ，360 度轉(zhuǎn)動 ，可微調(diào) | 8 英寸，360 度轉(zhuǎn)動，可微調(diào) | |
卡盤行程和精度 | 4 英寸*4 英寸，精度 10um | 6 英寸*6 英寸 ，精度 10um | 8 英寸*8 英寸 ，精度 10um | |
卡盤吸附方式 | 真空吸附 ， 可選擇環(huán)形吸附或者多孔吸附 （適用于薄片） | |||
背電極測試功能 | 具備 ，樣品臺電學(xué)獨(dú)立懸空 ，帶 4mm 香蕉頭插口 | |||
針座平臺 | 材質(zhì) | U 型平臺 ，鍍鎳 ，與探針座之間具備更強(qiáng)吸附力 | ||
大小 | 最多可放置4個(gè)探針座 | 最多可放置6個(gè)探針座 | 最多可放置8個(gè)探針座 | |
顯示系統(tǒng) | 顯微鏡 | 體式顯微鏡/視頻顯微鏡（注意視場）+CCD成像系統(tǒng) | ||
倍率范圍 | 16X~200X/60X~420X | |||
調(diào)焦范圍 | 50.8mm | |||
顯微鏡移動 | 顯微鏡可繞立柱360度旋轉(zhuǎn)，帶2英寸高精度顯微鏡調(diào)焦機(jī)構(gòu)，帶顯示器支架 | |||
CCD 成像系統(tǒng) | 200 萬/500萬像素，幀率 60fps，帶拍照/錄像/測量功能等功能 | |||
探針座 | 種類 | DR/L-200m/V和DR/L-100m/V 和 DR/L-40m | ||
X-Y-Z 行程 | 12mm-12mm-12mm | |||
機(jī)械精度 | ||||
夾具 | 漏電精度 | 10pA/100fA | ||
接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口/SMA/裸線等 | |||
其它 | 選件 | 屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/顯微鏡萬向支架等 | ||
電力需求 | 220V/50HZ | |||
功能結(jié)構(gòu)圖：
圖片：
優(yōu)測國芯電子科技（深圳）有限公司是一家致力于提供半導(dǎo)體和自動化設(shè)備綜合解決方案的自主創(chuàng)新型技術(shù)企業(yè)。我們集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)于一體，不僅擁有*的生產(chǎn)設(shè)備、加工工藝及品質(zhì)檢測體系，也擁有涉及材料、物理、化學(xué)、微電子、機(jī)械等專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)。現(xiàn)在主營的產(chǎn)品有：4寸、6寸、8寸、12寸手動探針臺、高壓大功率探針臺、真空高低溫探針臺，半自動探針臺，全自動探針臺等，可以完成I-V/C-V測試，脈沖I-V測試，RF/mmW測試，高壓、大電流測試，MEMS、光電器件等測試。專業(yè)的設(shè)計(jì)人員也可以按客戶的要求量身定制，如搭配光電流掃描成像或拉曼-瞬態(tài)熒光壽命成像系統(tǒng)、太陽能發(fā)生器、多普勒測試儀、積分球等，在常規(guī)探針臺功能上進(jìn)行延伸拓展來滿足不同客戶的測試需求。
