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為了對(duì)大直徑晶圓和液晶進(jìn)行高速縮小投影曝光,步進(jìn)機(jī)使用短波長(zhǎng)的光源以獲得高分辨率,并將IC掩模圖案投影并曝光在光罩上后,移動(dòng)平臺(tái)曝光晶圓的過(guò)程涉及重復(fù)多次圖案曝光。步進(jìn)機(jī)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)包括曝光光源、投影鏡頭、晶圓臺(tái)、晶圓裝載機(jī)等。由于IC大規(guī)模集成的需求,已開(kāi)始使用波長(zhǎng)較短的曝光光源。這是因?yàn)樾枰⌒突?,并且一般?lái)說(shuō),用于曝光的光的波長(zhǎng)越短,分辨率越高。20世紀(jì)90年代,365nm的i線是主要焦點(diǎn),但此后波長(zhǎng)變得更短,例如Krf(波長(zhǎng)248nm)和Arf(波長(zhǎng)193nm)。晶圓載物臺(tái)是為了更快、更高
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步進(jìn)曝光機(jī)是一種用于光刻(半導(dǎo)體和液晶制造工藝)的投射曝光設(shè)備。隨著IC電路圖案的小型化,制作全尺寸光掩模圖案變得困難。這是指在對(duì)大于實(shí)際尺寸的掩模圖案進(jìn)行縮小投影曝光時(shí)進(jìn)行分步重復(fù)曝光的曝光設(shè)備步進(jìn)機(jī)是一種曝光設(shè)備,通過(guò)執(zhí)行步進(jìn)和重復(fù)來(lái)曝光整個(gè)待曝光區(qū)域。步進(jìn)機(jī)的使用步進(jìn)機(jī)用于半導(dǎo)體和液晶的制造,特別是用于光刻過(guò)程中使用掩模的曝光處理。步進(jìn)法包括步進(jìn)重復(fù)法和步進(jìn)重復(fù)法,其中,由于一次可以轉(zhuǎn)移的面積較小,因此在步進(jìn)時(shí)將晶圓順序曝光;以及步進(jìn)重復(fù)法,其中稱為掃描儀的標(biāo)線和存在一種使用步進(jìn)機(jī)進(jìn)行曝光
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到貨!京都玉崎深圳倉(cāng)庫(kù)到貨日本AND電子秤GX-2000產(chǎn)品介紹:最小顯示0.1mg~內(nèi)置重量可隨時(shí)高精度測(cè)量?jī)?nèi)置砝碼,隨時(shí)高精度測(cè)量0.1mg:6個(gè)型號(hào)(最小顯示)0.001g:6個(gè)型號(hào)0.01g:5個(gè)型號(hào)0.1g:2個(gè)型號(hào)?新開(kāi)發(fā)的傳感器方法SmartSHS®智能超級(jí)混合傳感器實(shí)現(xiàn)了高速響應(yīng)和高分辨率?安裝在生產(chǎn)線中時(shí)的ISD:沖擊檢測(cè)當(dāng)秤盤受到?jīng)_擊時(shí),通過(guò)4級(jí)警告顯示和蜂鳴器通知您?用于測(cè)量泵流量等液體的FRD:流量顯示將負(fù)載的變化計(jì)算為“流量”使用單個(gè)天平即可實(shí)現(xiàn)高精度流量測(cè)量?用于檢查 -
描述船舶和飛機(jī)中使用的速度傳感器。當(dāng)測(cè)量船上相對(duì)于水的速度時(shí),使用利用多普勒效應(yīng)的速度傳感器。多普勒效應(yīng)是指當(dāng)聲源(注:與超聲波相比,無(wú)線電波和光在水下衰減顯著,因此幾乎無(wú)法使用)和傳感器彼此距離較近時(shí),檢測(cè)到的頻率會(huì)高于檢測(cè)到的頻率。沒(méi)有相對(duì)運(yùn)動(dòng),也指當(dāng)這些物體遠(yuǎn)離時(shí),感知頻率較低的現(xiàn)象。系統(tǒng)通過(guò)檢測(cè)該頻移(即水粒子的多普勒頻移)來(lái)計(jì)算水速。在飛機(jī)上,安裝在機(jī)身上的皮托管測(cè)量空速。皮托管通過(guò)其Jian端的孔吸入空氣,并利用外部風(fēng)壓和當(dāng)?shù)卮髿鈮毫χg的差異來(lái)測(cè)量空速。另外,在實(shí)際的客機(jī)中,使用皮
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速度傳感器安裝在汽車、摩托車、鐵路車輛、船舶、飛機(jī)等車輛上,可以檢測(cè)和測(cè)量這些各種車輛的移動(dòng)速度。速度傳感器包括根據(jù)輪子的角速度(單位時(shí)間旋轉(zhuǎn)多少度)計(jì)算速度的方法、利用多普勒效應(yīng)檢測(cè)光波和聲波反射波之間的相位差的方法以及利用多普勒效應(yīng)根據(jù)輪子的角速度(單位時(shí)間旋轉(zhuǎn)多少)來(lái)測(cè)量速度。有皮托管可以測(cè)量物體的速度,GPS速度計(jì)則使用從軌道上的衛(wèi)星發(fā)送的信號(hào)。速度傳感器的用途如上所述,速度傳感器用于檢測(cè)和測(cè)量各種車輛的移動(dòng)速度。然而,船舶的運(yùn)行一般受外力較多且復(fù)雜,在港口等處需要小心操作(操縱)。因此
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頻率測(cè)量?jī)x器廣泛應(yīng)用于電氣工程、通信工程等領(lǐng)域。1、設(shè)備可靠性評(píng)估頻率測(cè)量?jī)x器廣泛用于電子設(shè)備的可靠性評(píng)估。例如,電源電路中產(chǎn)生的噪聲和變頻電路的操作評(píng)估都屬于此類。2.頻率特性評(píng)估頻率測(cè)量?jī)x器也用于評(píng)估頻率特性。例如,您可以評(píng)估放大器和揚(yáng)聲器等音頻設(shè)備的頻率響應(yīng)。它還用于評(píng)估頻率濾波器的特性。3、通信工程頻率測(cè)量?jī)x器也是通信工程中重要的測(cè)量?jī)x器。例如,它用于調(diào)整發(fā)射器頻率或評(píng)估接收器頻率。它還用于分析無(wú)線通信故障。4.功率測(cè)量頻率測(cè)量?jī)x器也用于功率測(cè)量。例如,它用于評(píng)估發(fā)電機(jī)和變壓器的頻率。它
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頻率測(cè)量?jī)x是測(cè)量信號(hào)頻率的裝置。以數(shù)字形式輸出頻率的電子設(shè)備或組件,也稱為頻率計(jì)數(shù)器。測(cè)量電信號(hào)的周期脈沖數(shù)并輸出頻率。頻率測(cè)量?jī)x器用于與高頻無(wú)線電技術(shù)相關(guān)的許多應(yīng)用中,以高精度測(cè)量頻率信號(hào)??梢赃M(jìn)行準(zhǔn)確、高精度的測(cè)量,并可以詳細(xì)分析信號(hào)波形和頻率特性。這種頻率測(cè)量?jī)x廣泛應(yīng)用于電氣測(cè)試的各個(gè)領(lǐng)域,測(cè)量重復(fù)信號(hào)的頻率。頻率測(cè)量?jī)x原理頻率測(cè)量?jī)x器通常與示波器等其他儀器結(jié)合使用。頻率測(cè)量?jī)x器的類型包括臺(tái)式、便攜式、高頻、低頻、RF(射頻)和微波。頻率測(cè)量?jī)x由波形整形部分、參考時(shí)間脈沖發(fā)生部分、門控部分
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光梳是一種用于多種應(yīng)用的技術(shù)。1.原子鐘光梳對(duì)于高精度原子鐘至關(guān)重要。通過(guò)使用光梳,可以非常高精度地測(cè)量原子和分子的躍遷頻率。這提高了世界各地用作時(shí)間標(biāo)準(zhǔn)的原子鐘的準(zhǔn)確性。使用光梳的原子鐘對(duì)于GPS等衛(wèi)星定位系統(tǒng)的精確時(shí)間同步也很重要。2.光譜分析使用光梳的光譜分析對(duì)于分子躍遷和原子光譜的高分辨率觀察非常有用。這對(duì)于天體物理研究和核物理非常重要。用于探測(cè)大氣中的氣體和觀測(cè)天體光譜。3、通訊設(shè)備光梳用于生成用于高速數(shù)據(jù)通信的鎖相光脈沖。這使得穩(wěn)定的信息傳輸和高帶寬通信成為可能。近年來(lái),還研究了使用