手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號(hào)：chem17
掃碼關(guān)注視頻號(hào)
It’s not only Spin Coater, it’s Spin Processor!
——勻膠機(jī)顧名思義，一種可以“讓膠液均勻涂敷的機(jī)器”。MYCRO的MSC-650S所有數(shù)據(jù)結(jié)果都可以通過電腦輸出并予以保存。完成從單純旋轉(zhuǎn)機(jī)器到旋涂儀器的升級。
勻膠機(jī)是一種常見用于材料薄膜制備工藝的實(shí)驗(yàn)室設(shè)備，它的原理相對比較簡單，利用電機(jī)高速旋轉(zhuǎn)時(shí)所產(chǎn)生的離心力使得試液或者膠液均勻地涂敷在基底材料的表面，顧名思義，一種可以“讓膠液均勻涂敷的機(jī)器”。
勻膠機(jī)有很多稱謂，勻膠臺(tái)，旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)，旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)或者旋轉(zhuǎn)涂敷機(jī)等等，它的英文是 Spin Coater（旋轉(zhuǎn)涂膜的意思）。
勻膠機(jī)既然是科研開發(fā)上制備薄膜材料*的方法之一，使用者對于該設(shè)備zui大的期待就在于其能夠“均勻”地涂敷試液或者膠液。通常我們會(huì)用均一性和可重復(fù)性來衡量薄膜材料制備的好壞。
國內(nèi)外對于這種勻膠旋涂設(shè)備的發(fā)展呈現(xiàn)出很大的差距。中國先開展勻膠機(jī)研制的單位是中科院微電子所，推出的KW-4A型號(hào)的勻膠機(jī)，具有低速起步和高速旋轉(zhuǎn)兩個(gè)單位。
國外的高性能勻膠機(jī)zui早則集中在美國和德國。后來隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展，日韓等國家也開發(fā)出性價(jià)比較高的勻膠機(jī)器。
日韓等國隨著在半導(dǎo)體制程，LCD，TFT顯示材料的研發(fā)制造等領(lǐng)域的發(fā)展占據(jù)先機(jī)，所開發(fā)的產(chǎn)品基本上集中于半導(dǎo)體濕制程系列工藝中的自動(dòng)化控制系統(tǒng)，由于涉及到與其它工序的自動(dòng)化集成的趨勢，故產(chǎn)品價(jià)格高得也令人咂舌。目前美德諸多公司也放棄利潤低下的單獨(dú)功能的勻膠產(chǎn)品發(fā)展，全部集中于半導(dǎo)體整體工藝的解決方案提供。
MYCRO美國產(chǎn)的勻膠設(shè)備MSC-650S系列，除了對于轉(zhuǎn)速的精密控制以外（轉(zhuǎn)速范圍50~12000轉(zhuǎn)/分，分辨率小于0.5轉(zhuǎn)/分，可重復(fù)性小于±0.5轉(zhuǎn)/分，由美國NIST工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，無需再校準(zhǔn)，加速度可達(dá)80000RPM/S，zui低則可達(dá)1RPM/S），加速時(shí)間可調(diào)范圍1秒至99分59.9秒，zui小增加度0.1秒。
MYCRO的MSC-650S勻膠機(jī)還可以通過與電腦鏈接，以及隨機(jī)附帶的SPIN分析軟件，對于每次實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行分析調(diào)試，并挑選出*的制備過程。所有數(shù)據(jù)結(jié)果都可以通過電腦輸出并予以保存。完成從單純旋轉(zhuǎn)機(jī)器到旋涂儀器的升級。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí)，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購中心