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包括腐蝕性氣體都要進行嚴格的潔凈性檢測。氣體要進行干燥處理，盡量避免氣體產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)。在大流量的情況下，腐蝕物和沉淀物是產(chǎn)生回流的重要原因，在腐 蝕性氣體流量變大的情況下，氣瓶容易產(chǎn)生水氣混合現(xiàn)象，從而導(dǎo)致腐蝕。還有當(dāng)氣瓶更換頻繁的時候，沒有進行足夠的潔凈工序，使氣體混有水分，這也是產(chǎn)生腐 蝕的原因之一。液體氣體的情況下，除去WF6等低壓，一般情況下要進行雙級減壓，雙級減壓器可以起到防止溫度降低的作用。關(guān)于各種減壓器的zui大流量等使用限度方面，要根據(jù)不同情況進行不同分析。
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