一、沉積設備用高溫分體氣體流量控制器及流量計  產(chǎn)品概述：

u 可快速精確測量高溫氣體的體積流量/質(zhì)量流量

u 采用定制的高速比例控制閥對介質(zhì)體積流量/質(zhì)量流量進行精確控制

u 超大可觸顯示屏，操作方便同時開放模擬輸入輸出和RS-485數(shù)字通訊

u 內(nèi)部無可移動組件和熱元件，通過抗振動測試，對安裝方向不敏感

u 采用內(nèi)部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下流體仍舊保持層流運動

u 提供良好的用戶支持，包括技術咨詢、快捷的設備校準服務和有條件的終身質(zhì)保。

二、產(chǎn)品應用：

        -- 沉積設備用高溫分體氣體流量控制器及流量計 已廣泛應用于薄膜沉積領域，如：陶瓷工藝、半導體、光纖等行業(yè)使用高溫氣體的的沉積設備。

        -- 多變量測量以及50:1量程可調(diào)比，使得僅用一臺熱式高溫分體氣體質(zhì)量流量控制器及流量計便可取代多臺設備的功效。

-- 精度0.5%FS、重復性0.5%及不到200毫秒的控制響應時間，確保高溫的過程氣體可以流暢的工作。

三、沉積設備用高溫分體氣體流量控制器及流量計  技術參數(shù)：