ART165V-5系列 直驅(qū)升降臺是納米級定位精度托舉運動升降平臺，直線電機驅(qū)動，交叉滾珠導軌，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達150Hz以上。

ART165V-5系列 直驅(qū)升降臺是ART系列水平運動平臺的有效補充，相比ART130V-5臺面寬度有所增加，承載能力更大，可以與SMH165LM/SMH165SD直線平臺組成不同的多軸配置來滿足客戶應用。在一些需要快速聚焦的應用中，ART165V-5 的出色動態(tài)性能使其足以滿足嚴苛的技術(shù)要求，例如，在基因測序應用中ART165V-5安裝1.7kg負載步進1μm，步進整定到±50nm誤差范圍，能在15ms時間內(nèi)完成包括加減速和整定在內(nèi)的所有動作，能快速準確的完成實時聚焦動作。

ART165V-5系列升降臺結(jié)構(gòu)緊湊小巧，但是有較強的驅(qū)動能力，最大速度可達75mm/s，空載加速度可達0.7g。配置線性放大器，帶隔振實驗室環(huán)境下，ART165V-5系列升降臺的在位穩(wěn)定性和最小步進量可以小于5nm，主要應用于通訊領(lǐng)域的光纖耦合、半導體領(lǐng)域的晶圓缺陷檢測、生物醫(yī)療領(lǐng)域的基因測序等，可以根據(jù)客戶的應用場景提供靈活的定制方案。

ART165V-5系列升降臺最小步進測試

5nm 步進（配置線性放大器）

0.1mm 步進，50ms整定到±50nm

備注：

（1）平行或垂直于楔形塊方向測量；

（2）沿軸線方向受力；

（3）適配-AS反饋，配置線性放大器；

（4）空載測試；

（5）默認測試點位置為臺面上方25 mm，單軸指標，多軸系統(tǒng)的性能指標與實際載荷和工作點位置有關(guān)。