VC60-5系列 電動直驅(qū)升降臺是納米級定位精度的托舉運動升降平臺，直線電機驅(qū)動，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達120Hz以上。

VC60-5系列 電動直驅(qū)升降臺是ART130系列水平運動平臺的有效補充，可以與ART130或者ART130XY組成不同的多軸配置來滿足客戶應(yīng)用，在一些需要快速聚焦的應(yīng)用中，VC60-5 的出色動態(tài)性能使其足以滿足嚴苛的技術(shù)要求，例如，在基因測序應(yīng)用中VC60-5安裝350g負載以10Hz的正弦頻率做20μm振幅往復(fù)運動，運動過程中動態(tài)跟隨誤差小于1μm，VC60-5實測數(shù)據(jù)是0.78μm，能快速準(zhǔn)確的完成實時聚焦動作。

VC60-5系列升降臺結(jié)構(gòu)緊湊小巧，但是有較強的驅(qū)動能力，最大速度80mm/s，空載加速度可達0.5g。配置線性放大器，帶隔振實驗室環(huán)境下，VC60-5平臺的在位穩(wěn)定性和最小步進量可以小于10nm，主要應(yīng)用于通訊領(lǐng)域的光纖耦合、半導(dǎo)體領(lǐng)域的晶圓缺陷檢測、生物醫(yī)療領(lǐng)域的基因測序等，可以根據(jù)客戶的應(yīng)用提供靈活的定制方案。

VC60-5系列升降臺最小步進測試

10nm 步進（配置線性放大器）

備注：

（1）平行或垂直于升降方向測量；

（2）沿軸線方向受力；

（3）適配-AS反饋，配置線性放大器；

（4）空載測試；

（5）默認測試點位置為臺面前方25 mm。