工作原理

ITR90熱陰極復(fù)合規(guī)基于熱陰極電離規(guī)的原理工作。通過高溫燈絲發(fā)射電子，這些高能量電子在電場作用下加速運動，與真空計測量空間內(nèi)的氣體分子發(fā)生碰撞。在碰撞過程中，氣體分子的一個或多個電子被撞擊出去，使氣體分子電離形成帶正電的離子。這些帶電離子在電場作用下被離子收集極捕捉收集，形成離子流。離子流的大小與氣體壓力成比例關(guān)系，通過測量離子流的大小就可以測算出氣體的壓力，從而得出真空度。

ITR90熱陰極復(fù)合規(guī)結(jié)構(gòu)特點

電極結(jié)構(gòu)：一般由陰極（燈絲）、柵極和收集極組成。陰極通常采用耐高溫、發(fā)射電子性能良好的材料制成，通電加熱后發(fā)射電子。柵極處于正電位，用于加速從陰極發(fā)射出來的電子，使電子獲得足夠的能量去撞擊氣體分子。收集極處于負電位，用于收集被電離的氣體離子。

規(guī)管設(shè)計：整體規(guī)管的設(shè)計能夠保證在高真空環(huán)境下，電子、離子的運動和相互作用不受外界干擾，確保測量的準確性和穩(wěn)定性。

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