国产精品视频一区二区三区四,亚洲av美洲av综合av,99国内精品久久久久久久,欧美电影一区二区三区电影

官方微信|手機(jī)版

產(chǎn)品展廳

產(chǎn)品求購企業(yè)資訊會展

發(fā)布詢價單

化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>行業(yè)專用儀器及設(shè)備>其它行業(yè)專用儀器>其它專用儀器> NRE-4000(A)全自動反應(yīng)離子刻蝕

NRE-4000(A)全自動反應(yīng)離子刻蝕

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 那諾中國有限公司
  • 品牌
  • 型號
  • 產(chǎn)地 美國
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/4/28 7:57:16
  • 訪問次數(shù) 1803

聯(lián)系方式:吳運(yùn)祥查看聯(lián)系方式

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!



那諾中國有限公司專注于為大中華區(qū)域(包括中國大陸、香港、澳門和中國臺灣)的高校、科研院所、企業(yè)研發(fā)與生產(chǎn)等企業(yè)機(jī)構(gòu)提供高性能、高性價比、定制化的薄膜工藝加工設(shè)備及科學(xué)分析檢測儀器。


那諾中國提供美國那諾-馬斯特薄膜工藝加工設(shè)備(包含磁控濺射、熱蒸鍍、電子束、PECVD、ALD、PA-MOCVD、RIE、離子束、DRIE、晶圓兆聲清洗機(jī)等)。


那諾中國提供英國KORE基于飛行時間的質(zhì)譜儀,包含飛行時間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS)、質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(yīng)(PTR)質(zhì)譜儀、電子轟擊電離(EI)質(zhì)譜儀等。





ALD,PECVD,RIE,磁控濺射,熱蒸鍍,電子束,離子束,晶圓清洗機(jī),PA-MOCVD,飛行時間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS)

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥

反應(yīng)離子刻蝕

NRE-4000(A)全自動反應(yīng)離子刻蝕概述:

NRE-4000是一款獨(dú)立式RIE反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng),配套有淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品.具有不銹鋼柜子以及13"的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個端口:一個帶有2"的視窗,另一個空置用于診斷.該系統(tǒng)可以支持至大到12”的晶圓片。腔體為超凈設(shè)計,并且根據(jù)配套的真空泵可以達(dá)到10-6 Torr 或更小的極限真空。該系統(tǒng)系統(tǒng)可以在20mTorr8Torr之間的真空下工作。真空泵組包含一個節(jié)流閥,一個250l/s的渦輪分子泵,濾網(wǎng)過濾器,以及一個10cfm的機(jī)械泵(Formblin泵油).RF射頻功率通過600W,13.56MHz的電源和自動調(diào)諧器提供。系統(tǒng)將持續(xù)監(jiān)控直流自偏壓,該自偏壓可以高達(dá)-500V.這對于各向異性的刻蝕至關(guān)重要。

該系統(tǒng)是基于PC控制的全自動系統(tǒng).系統(tǒng)真空壓力及DC直流偏壓將以圖形格式實(shí)時顯示,流量及功率則以數(shù)字形式實(shí)時顯示.系統(tǒng)提供密碼保護(hù)的四級訪問功能:操作員級、工程師級、工藝人員級,以及維護(hù)人員級.允許半自動模式(工程師模式)、寫程序模式(工藝模式), 和全自動執(zhí)行程序模式(操作模式)運(yùn)行系統(tǒng)?;谌詣拥目刂?,該系統(tǒng)具有高度的可重復(fù)性。

NRE-4000(A)全自動反應(yīng)離子刻蝕產(chǎn)品特點(diǎn):

  • 鋁質(zhì)腔體或不銹鋼腔體
  • 不銹鋼立柜
  • 能夠刻蝕硅的化合物(~400? /min)以及金屬
  • 典型的硅刻蝕速率,400 ?/min
  • 高達(dá)12”的陽極氧化鋁RF樣品臺
  • 水冷及加熱的RF樣品臺
  • 大自偏壓
  • 淋浴頭氣流分布
  • 極限真空5x10-7Torr,20分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6Torr級別
  • 渦輪分子泵
  • 至多支持8MFC
  • 無繞曲氣體管路
  • 自動下游壓力控制
  • 雙刻蝕能力支持:RIE以及PE刻蝕(可選)
  • 終點(diǎn)監(jiān)測
  • 氣動升降頂蓋
  • 自動上下載片
  • 預(yù)真空鎖
  • 基于LabView軟件的PC計算機(jī)全自動控制
  • 菜單驅(qū)動,4級密碼訪問保護(hù)
  • *的安全聯(lián)鎖
  • 可選ICP離子源以及低溫冷卻樣品臺,用于深硅刻蝕

Features:

  • Aluminum or Stainless Steel Chamber
  • Stainless Steel Cabinet
  • Capable of etching Si compounds (~400 ? /min)and metals
  • Typical Si etch rate, 400 ?/min
  • Up to 12“ Anodized RF Platen
  • Water Cooled and Heated RF Platen
  • Large Self Bias
  • Shower Head gas distribution
  • Approximay 10-6 Torr < 20 minutes, ~ 5 x10-7 Torr base pressure
  • Turbomolecular Pump
  • Up to eight MFCs
  • No flexing of gas lines
  • Down Stream Pressure Control
  • Dual Etch capability: RIE and Plasma Etch(Option)
  • End Point Detection
  • Pneumatically Lifted Top
  • Automatic loading/unloading
  • Load Lock
  • PC Controlled with LabVIEW
  • Recipe Driven, Password Protected
  • ully Safety Interlocked 
  • Optional ICP source and cryogenic cooling of the platen for deep Si etch


化工儀器網(wǎng)

采購商登錄
記住賬號    找回密碼
沒有賬號?免費(fèi)注冊

提示

×

*您想獲取產(chǎn)品的資料:

以上可多選,勾選其他,可自行輸入要求

個人信息:

溫馨提示

該企業(yè)已關(guān)閉在線交流功能

集贤县| 娄烦县| 石门县| 衡山县| 黄大仙区| 中超| 麻城市| 乾安县| 石柱| 漳州市| 易门县| 嫩江县| 扎鲁特旗| 镇原县| 涞源县| 莲花县| 六盘水市| 通化县| 梁山县| 高要市| 重庆市| 鱼台县| 茂名市| 田林县| 永寿县| 彝良县| 资中县| 阳东县| 齐河县| 普兰店市| 秀山| 神农架林区| 鄂尔多斯市| 思茅市| 怀集县| 黄骅市| 浦北县| 通辽市| 广水市| 深水埗区| 广昌县|