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BTF-1200C-RP-PECVD 連續(xù)進(jìn)出料等離子體增強(qiáng)回轉(zhuǎn)設(shè)備

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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      安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司成立于2012年,基地位于安徽合肥,是一家集新材料設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與技術(shù)服務(wù)于一體的高科技企業(yè)。

      公司重視技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā),建有超卓的產(chǎn)品研發(fā)中心,擁有一支由多名博士碩士組成的專業(yè)研發(fā)隊(duì)伍,累計(jì)獲得patent200余項(xiàng)。并通過產(chǎn)學(xué)研合作,與北京大學(xué)南開大學(xué)等多所院校建立聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室及研究生聯(lián)合培養(yǎng)基地
      公司專注于新材料裝備工藝開發(fā)及裝備制造,產(chǎn)品門類涵蓋了OLED材料提純專用設(shè)備系列、碳材料制備設(shè)備系列、半導(dǎo)體專用設(shè)備系列及金屬納米顆粒設(shè)備系列四大類共十余個(gè)子類,與眾多材料廠商、科研院校等保持長期合作關(guān)系,市場營銷網(wǎng)絡(luò)遍布全球各地。
      連年來,公司相繼被認(rèn)定為“高新技術(shù)企業(yè)”“專精特新企業(yè)““科技小巨人培育企業(yè)”“石墨烯生長設(shè)備工程技術(shù)研究中心”“瞪羚企業(yè)”“雛鷹企業(yè)”,并接連獲得“中國隱形獨(dú)角獸500強(qiáng)”“科技創(chuàng)新獎(jiǎng)”“創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)獎(jiǎng)”等多項(xiàng)榮譽(yù)。

 

 

 

 

 

 

 

 

高溫管式爐,箱式爐,CVD系統(tǒng),PECVD系統(tǒng), 等離子清洗機(jī),陶瓷材料燒結(jié)設(shè)備

產(chǎn)地類別 國產(chǎn)

1. 主要用途

該款設(shè)備是全自動Plasma增強(qiáng)CVD系統(tǒng)(PECVD),連續(xù)可控溫度以及Plasma強(qiáng)度等,配備真空系統(tǒng),可以低壓條件下實(shí)現(xiàn)工藝,PECVD系統(tǒng)

能使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū),輝光相對均勻等效,很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài),該設(shè)備爐管可360°旋轉(zhuǎn),有助于粉

料的燒結(jié)更均勻,可大角度傾斜,方便進(jìn)出料,傾斜角度在0-35°之間,所有物料經(jīng)過的管道都選用非金屬材質(zhì),如:進(jìn)出料腔體選用石

英材質(zhì),推料桿選用石英及聚四氟材質(zhì)。

 

2.結(jié)構(gòu)與原理圖:

 

                                             結(jié)構(gòu)圖

 

設(shè)備組成:加熱系統(tǒng),Plasma系統(tǒng),進(jìn)料系統(tǒng),出料系統(tǒng),氣體控制系統(tǒng),低真空系統(tǒng),氣料分離系統(tǒng),過濾系統(tǒng),爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng),電控操作系統(tǒng)。

(1)加熱系統(tǒng):

該加熱系統(tǒng)的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導(dǎo)率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研單位的材料工藝研

究。加熱元件選用電阻絲加熱,適合中低溫度加熱系統(tǒng)。

高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負(fù)反饋控制系統(tǒng),控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控溫,電力調(diào)制器控制;負(fù)載采用小電

壓大電流控制,從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命,測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù),無須操作人員的干預(yù),可

自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號,同時(shí)系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫、斷偶報(bào)警保護(hù)功能,大大降低了對操作人員經(jīng)驗(yàn)的要求。

額定功率

4KW

額定電壓

AC220V  50/60Hz

高溫度

1200度

使用溫度

1100度

設(shè)備尺寸

長*寬*高 2100*600*1200mm

爐管尺寸

Ø60*420*2+Ø100*360mm*

爐管旋轉(zhuǎn)速率

0~60r/min

爐體傾斜角度

0~35°

爐膛材料

氧化鋁、高溫纖維制品

熱電偶類型

K型熱電偶

控溫精度

±1℃

控溫方式

30段可編程控溫,PID參數(shù)自整定,

操作界面為10”液晶觸摸屏控制

加熱長度

200mm+200mm

恒溫長度

250mm

加熱元件

電阻絲

 

(2)Plasma系統(tǒng):

 

本系統(tǒng)借助于輝光放電產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中,電子密度高,通過反應(yīng)氣態(tài)放電,有效利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征,從根

本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式。

 

(3)進(jìn)料系統(tǒng):

 

送料系統(tǒng)速度連續(xù)可調(diào),停止送料且爐體傾斜大時(shí),物料不會從送料系統(tǒng)外漏,送料系統(tǒng)方便拆卸,拆卸后可手動加料,設(shè)備可正常運(yùn)行。

 

(4)出料系統(tǒng):

 

出料系統(tǒng)在爐體傾斜出料時(shí)可自動出料。

 

(5)氣體控制系統(tǒng):

 

該控氣系統(tǒng)是可以控制兩種氣體按照不同流量進(jìn)行混合配比的,也可以獨(dú)立控制,質(zhì)量流量計(jì)安裝于密封的可移動的機(jī)柜內(nèi),由超潔雙拋不銹

鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。

 

連接頭類型

雙卡套不銹鋼接頭

標(biāo)準(zhǔn)量程(N2)

*路:  200 SCCM

第二路:  500 SCCM

準(zhǔn)確度

±1.5%F.S

線性

±1%F.S

重復(fù)精度

±0.2%F.S

響應(yīng)時(shí)間

氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍

0.1~0.5 MPa

大壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

顯示

4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度

5~45高純氣體

壓力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6

內(nèi)外雙拋不銹鋼管

Φ6

 


(6)低真空系統(tǒng):

該系統(tǒng)配備真空機(jī)械泵,可以抽真空,可以讓設(shè)備在真空環(huán)境下進(jìn)行反應(yīng)。

 

空氣相對濕度

≤85%

工作環(huán)境

5℃~40℃

工作電電壓

220V±10%  50~60HZ

功率

1KW

抽氣速率

10m³/h

極限真空

5X10-1Pa

工作壓力范圍

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進(jìn)氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

噪音

50dB

外形尺寸

600×600×600mm

連接方式

采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連

 

(7)氣料分離系統(tǒng):

該系統(tǒng)可以讓設(shè)備在充氣體保護(hù)或者抽真空時(shí),實(shí)現(xiàn)氣體與物料的分離。

(8)過濾系統(tǒng):

該系統(tǒng)可防止物料進(jìn)入真空泵,保證真空泵的正常運(yùn)行。

(9)爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng):

爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng)可以讓爐管360°勻速轉(zhuǎn)動,轉(zhuǎn)速在0-60r/min連續(xù)可調(diào),且能在60r/min轉(zhuǎn)速下長時(shí)間運(yùn)行。

 

 

3.技術(shù)指標(biāo):

 

(1)該設(shè)備爐管可360度旋轉(zhuǎn),管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉料翻轉(zhuǎn)有助于燒結(jié)得更均勻;

(2)整個(gè)爐子和送料、收料系統(tǒng)能夠一起傾斜,方便出放料,傾斜角度在0~35°之間可調(diào);

(3)送料系統(tǒng)送料速度連續(xù)可調(diào),停止送料且爐體大傾斜時(shí),物料不從送料系統(tǒng)外漏。送料系統(tǒng)方便拆卸,拆卸之后可以手動加料,設(shè)備可

正常運(yùn)行。

(4)爐管回轉(zhuǎn)穩(wěn)定,不會上下左右跳動;轉(zhuǎn)速在0~60r/min連續(xù)可調(diào),能在60r/min轉(zhuǎn)速下連續(xù)*運(yùn)轉(zhuǎn)(>24h)。

(5)爐子轉(zhuǎn)速,加料速度,傾斜角度,真空度,氣體流量,溫度,運(yùn)行時(shí)間,等離子體功率等參數(shù)都用數(shù)字顯示,并在運(yùn)行過程記錄設(shè)備整個(gè)

運(yùn)行軌跡及上述參數(shù)(在工控及獨(dú)立電腦上均能實(shí)現(xiàn));

(6)設(shè)備運(yùn)行可分為手動模式與自動模式;自動模式下可實(shí)現(xiàn)高度自動化運(yùn)行,所有參數(shù)程序設(shè)定好后自動運(yùn)行:可實(shí)現(xiàn)按照設(shè)定程序連續(xù)工

作,可設(shè)置多工作段不同參數(shù),并可進(jìn)行某工作段循環(huán)工作及某程序循環(huán)工作;



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