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產(chǎn)品展廳

產(chǎn)品求購(gòu)企業(yè)資訊會(huì)展

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BTF-1200C-RP-PECVD 連續(xù)回轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
產(chǎn)品標(biāo)簽

連續(xù)回轉(zhuǎn)PECVD

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     安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司成立于2012年,基地位于安徽合肥,是一家集新材料設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售與技術(shù)服務(wù)于一體的高科技企業(yè)。

     公司重視技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā),建有超卓的產(chǎn)品研發(fā)中心,擁有一支由多名博士碩士組成的專業(yè)研發(fā)隊(duì)伍,累計(jì)獲得patent200余項(xiàng)。并通過(guò)產(chǎn)學(xué)研合作,與北京大學(xué)南開(kāi)大學(xué)等多所院校建立聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室及研究生聯(lián)合培養(yǎng)基地
     公司專注于新材料裝備工藝開(kāi)發(fā)及裝備制造,產(chǎn)品門(mén)類(lèi)涵蓋了OLED材料提純專用設(shè)備系列、碳材料制備設(shè)備系列、半導(dǎo)體專用設(shè)備系列及金屬納米顆粒設(shè)備系列四大類(lèi)共十余個(gè)子類(lèi),與眾多材料廠商、科研院校等保持長(zhǎng)期合作關(guān)系,市場(chǎng)營(yíng)銷(xiāo)網(wǎng)絡(luò)遍布全球各地。
     連年來(lái),公司相繼被認(rèn)定為“高新技術(shù)企業(yè)”“專精特新企業(yè)““科技小巨人培育企業(yè)”“石墨烯生長(zhǎng)設(shè)備工程技術(shù)研究中心”“瞪羚企業(yè)”“雛鷹企業(yè)”,并接連獲得“中國(guó)隱形獨(dú)角獸500強(qiáng)”“科技創(chuàng)新獎(jiǎng)”“創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)獎(jiǎng)”等多項(xiàng)榮譽(yù)。










高溫管式爐,箱式爐,CVD系統(tǒng),PECVD系統(tǒng), 升華儀,流化床,半導(dǎo)體前驅(qū)體制備設(shè)備,陶瓷材料燒結(jié)設(shè)備

產(chǎn)地類(lèi)別 國(guó)產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

技術(shù)參數(shù)

加熱系統(tǒng)Heating system

功率

4KW

電壓

AC220V  50/60Hz

zui高溫度

1200°C

使用溫度

1100°C

加熱長(zhǎng)度

200mm+200mm

恒溫長(zhǎng)度

250mm



控溫方式



模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)

智能化30段可編程控制

超溫和斷偶報(bào)警功能

操作界面為10 "液晶觸摸屏控制

控溫精度

+/- 1℃

爐管尺寸

Size:Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm

尺寸:Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm

Furnace tube rotation rate:0~60r/min

爐管轉(zhuǎn)速:0~60r/min

Furnace body inclination angle

0~35°(adjustable)

Plasma系統(tǒng)

本系統(tǒng)借助于輝光放電產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中,電子密度高,通過(guò)反應(yīng)氣態(tài)放電,有效利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征,從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式。

T

進(jìn)料系統(tǒng)

送料系統(tǒng)速度連續(xù)可調(diào),停止送料且爐體傾斜zui大時(shí),物料不會(huì)從送料系統(tǒng)外漏,送料系統(tǒng)方便拆卸,拆卸后可手動(dòng)加料,設(shè)備可正常運(yùn)行。

T

出料系統(tǒng)

出料系統(tǒng)在爐體傾斜出料時(shí)可自動(dòng)出料。)


氣體控制系統(tǒng)

該控氣系統(tǒng)是可以控制兩種氣體按照不同流量進(jìn)行混合配比的,也可以獨(dú)立控制,質(zhì)量流量計(jì)安裝于密封的可移動(dòng)的機(jī)柜內(nèi),由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。



低真空系統(tǒng)

該系統(tǒng)配備真空機(jī)械泵,可以抽真空,可以讓設(shè)備在真空環(huán)境下進(jìn)行反應(yīng)。



氣料分離系統(tǒng)

該系統(tǒng)可以讓設(shè)備在充氣體保護(hù)或者抽真空時(shí),實(shí)現(xiàn)氣體與物料的分離。



過(guò)濾系統(tǒng)

該系統(tǒng)可防止物料進(jìn)入真空泵,保證真空泵的正常運(yùn)行。


爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)

爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)可以讓爐管360°勻速轉(zhuǎn)動(dòng),轉(zhuǎn)速在0-60r/min連續(xù)可調(diào),且能在60r/min轉(zhuǎn)速下長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行。  






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