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BTF-1200C-SSL-PECVD 雙爐PECVD

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
產(chǎn)品標(biāo)簽

雙爐滑軌PECVD等離子

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      安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司成立于2012年,基地位于安徽合肥,是一家集新材料設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與技術(shù)服務(wù)于一體的高科技企業(yè)。

      公司重視技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā),建有超卓的產(chǎn)品研發(fā)中心,擁有一支由多名博士碩士組成的專業(yè)研發(fā)隊(duì)伍,累計(jì)獲得patent200余項(xiàng)。并通過產(chǎn)學(xué)研合作,與北京大學(xué)南開大學(xué)等多所院校建立聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室及研究生聯(lián)合培養(yǎng)基地
      公司專注于新材料裝備工藝開發(fā)及裝備制造,產(chǎn)品門類涵蓋了OLED材料提純專用設(shè)備系列、碳材料制備設(shè)備系列、半導(dǎo)體專用設(shè)備系列及金屬納米顆粒設(shè)備系列四大類共十余個子類,與眾多材料廠商、科研院校等保持長期合作關(guān)系,市場營銷網(wǎng)絡(luò)遍布全球各地。
      連年來,公司相繼被認(rèn)定為“高新技術(shù)企業(yè)”“專精特新企業(yè)““科技小巨人培育企業(yè)”“石墨烯生長設(shè)備工程技術(shù)研究中心”“瞪羚企業(yè)”“雛鷹企業(yè)”,并接連獲得“中國隱形獨(dú)角獸500強(qiáng)”“科技創(chuàng)新獎”“創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)獎”等多項(xiàng)榮譽(yù)。

 

 

 

 

 

 

 

 

高溫管式爐,箱式爐,CVD系統(tǒng),PECVD系統(tǒng), 等離子清洗機(jī),陶瓷材料燒結(jié)設(shè)備

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 加熱方式 電阻絲
價格區(qū)間 2萬-5萬 控溫精度 1℃
升溫速度(達(dá)到最高溫) 30/min 儀器種類 管式爐
應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),石油 最高溫度 1200℃

產(chǎn)品特點(diǎn):

PECVD(等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng))系統(tǒng),有多路質(zhì)量流量計(jì)系統(tǒng)(進(jìn)口流量計(jì)),真空機(jī)組(進(jìn)口真空泵),PE射頻電源(進(jìn)口射頻源),溫控系統(tǒng)等裝置構(gòu)成。使用PE源將氣源等離子化,有利于降低工藝溫度,同時擴(kuò)大工藝的使用條件,滿足更多的工藝實(shí)驗(yàn)要求,如石墨烯、納米管等,控制操作系統(tǒng)集成于觸摸屏操作面板上,便于操作與觀察。

技術(shù)參數(shù):

雙溫場滑軌爐

主要特點(diǎn):

滑軌式快速升溫爐是專為生長石墨烯研制的石墨烯生長爐,也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實(shí)驗(yàn),這款設(shè)備是根據(jù)開啟式真空管式爐改裝而來的,操作時可將實(shí)驗(yàn)需要的恒定高溫直接推到樣品處,使樣品能得到一個快速的升溫速度,同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處,使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下,得到快速的降溫速率。

技術(shù)參數(shù):

額定功率(KW):4

額定電壓(V):AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

溫度(℃):1200(1 hour)

持續(xù)工作溫度(℃):1100

升& 降溫速率(℃/S):≤20

爐管尺寸(mm):高純石英管Φ50×1900(管徑可選)

加熱區(qū)長度(mm) :230+230

恒溫區(qū)長度(mm):100+100

控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制具有超溫和斷偶報(bào)警功能

控溫精度(℃):±1

認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn):

密封系統(tǒng):爐管兩端配304不銹鋼水冷密封法蘭(包括精密針閥,指針式真空壓力表,法蘭進(jìn)氣端配置兩個Φ6mm卡套進(jìn)氣口。

凈重(Kg):80

射頻電源500W

 

信號頻率:13.56 MHz±0.005%

功率輸出范圍:L5W-500W

反射功率:200W

射頻輸出接口:50 Ω, N-type, female

功率穩(wěn)定度:±0.1%

諧波分量:≤-50dbc

供電電壓:單相交流(187V-253V)

頻率50/60HZ

整機(jī)效率:>=70%

功率因素:>=90%

冷卻方式:強(qiáng)制風(fēng)冷

供氣系統(tǒng)

 

工作電壓:185~245V 50HZ

輸出功率:18W

流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)量程:100sccm,200sccm,200sccm,500sccm(非特殊以氮?dú)鈽?biāo)定,量程可選)

工作溫度:5~45℃

工作壓差:0.1~0.5MPa

壓力:3MPa

準(zhǔn)確度:±1.5% FS

測量范圍:-0.1~0.15 MPa(0.01 MPa/grid)

針閥:316不銹鋼

混氣罐:Φ80×120mm

截止閥:Φ6mm”316不銹鋼針閥

尺寸:600×600×650 mm

低真空機(jī)組VAU-02

 

空氣相對濕度: ≤85%

工作電電壓:220V±10%  50~60HZ

功率:500瓦

抽氣速率:8m³/h

極限真空:4X10-2Pa

實(shí)驗(yàn)真空度:1.0X10-1Pa

容油量: 1.1L

進(jìn)氣口口徑:KF25

排氣口口徑:KF25

轉(zhuǎn)速:1450rpm

噪音:50dB

外型尺寸:600×600×600mm

 

 



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