化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>光刻及涂膠顯影設(shè)備>勻膠機(jī)>SPN150i 德國(guó)SPS-EUROPE勻膠機(jī)
SPN150i 德國(guó)SPS-EUROPE勻膠機(jī)
- 公司名稱(chēng) 華儀行（北京）科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) SPN150i
- 產(chǎn)地 德國(guó)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/10/25 14:24:34
- 訪問(wèn)次數(shù) 4396
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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),地礦 |
工作原理
勻膠機(jī)（spin coater）的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，勻膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
*特征
- 可編程全尺寸彩色觸摸屏控制器，可拆卸，耐化學(xué)試劑腐蝕；速度、加速和時(shí)間可編程；無(wú)*程序存儲(chǔ)空間，可存儲(chǔ)旋涂多步驟工作協(xié)議；具有協(xié)議密保功能；
- 可編程轉(zhuǎn)速范圍: 1rpm-12,000rpm；轉(zhuǎn)速參數(shù)設(shè)置范圍廣；高精確性旋轉(zhuǎn)速度 (± 0.1 rpm)；
- 數(shù)字電機(jī)控制，帶增速數(shù)字顯示信號(hào)反饋，以避免轉(zhuǎn)速過(guò)量，從而提升涂膜的品質(zhì)；
- 防靜電PET透明襯套，杜絕工作倉(cāng)室的交叉污染；
- 一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),殼體采用α-聚丙烯(NPP-H)材質(zhì)，傳動(dòng)系統(tǒng)采用工程塑料材質(zhì)，壽命長(zhǎng)耐腐蝕；
- 采用經(jīng)過(guò)熱處理透明玻璃蓋。玻璃蓋帶彈簧可自動(dòng)將蓋子固定在理想位置；玻璃蓋上帶注射器固定架和氮?dú)鈹U(kuò)散器，注射器固定架以固定的位移距離和位置注入抗蝕劑/化學(xué)試劑；氮?dú)鈹U(kuò)散器在旋涂過(guò)程可注入到工作艙氮?dú)?氬氣；工作艙環(huán)境可控；
- 安全互鎖裝置:工作艙蓋鎖止；艙蓋打開(kāi)旋轉(zhuǎn)自動(dòng)停止；真空不足或沒(méi)有真空旋轉(zhuǎn)自動(dòng)停止；過(guò)載保護(hù);
- USB端口：可上傳和下載旋涂協(xié)議和軟件；
- 三個(gè)外接控制端口，可用于接入注入單元自動(dòng)控制，氮?dú)鈹U(kuò)散器控制等等；
- 產(chǎn)品通過(guò)CE認(rèn)證。
技術(shù)參數(shù)
| SPN150i | SPN200i |
控制方式 | 全彩觸摸屏控制界面 | 全彩觸摸屏控制界面 |
結(jié)構(gòu)材質(zhì) | 聚丙烯(NPP-H)材質(zhì) | 聚丙烯(NPP-H)材質(zhì) |
旋轉(zhuǎn)速度 | 1-12000rpm ±1rpm steps | 1-12000rpm ±1rpm steps |
旋轉(zhuǎn)精度 | ±0.1rpm | ±0.1rpm |
旋轉(zhuǎn)方向 | 順時(shí)針，逆時(shí)針，交換擺動(dòng) | 順時(shí)針，逆時(shí)針，交換擺動(dòng) |
加速/減速 | 1-30,000rpm/秒 (每步可選) | 1-30,000rpm/秒 (每步可選) |
旋轉(zhuǎn)時(shí)間 | 0.1-99999秒/步 | 0.1-99999秒/步 |
基片范圍 | 160mm 或6"直徑或4"x4"方片 | 260mm 或6"直徑或6"x6"方片 |
腔體直徑 | 202mm | 302mm |
外接控制端口 | 3個(gè) | 3個(gè) |
真空開(kāi)關(guān) | 有 | 有 |
外形尺寸 | 27.5x45.0x25.0cm(WxDxH) | 380x559x307cm(WxDxH) |
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