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化工儀器網>產品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>光刻及涂膠顯影設備>勻膠機>SPN150i 德國SPS-EUROPE 勻膠機

SPN150i 德國SPS-EUROPE 勻膠機

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企業(yè)歷程 :

◆ 2006 年,在美國加州洛杉磯注冊成立賽福國際集團有限公司(CIF International Group Co.,Ltd)。成立之初是一 家面向大學科研院所銷售儀器設備的供應商。

◆ 2008 年, 自主研發(fā)生產石墨電熱板以來, 先后研發(fā)生產酸蒸逆流清洗器、酸純化器、智能消解儀等理化實驗儀器設備, 從此走上研發(fā)生產專業(yè)化道路。

◆ 2010 年,掌握了等離子核心技術,自主研發(fā)生產科研型等離子清洗機系列產品。

◆ 2014 年, 在中國注冊成立華儀行(北京) 科技有限公司, 正式進入中國市場, 部分儀器設備研發(fā)、制造業(yè)務移至中國。

◆ 2015 年,自主研發(fā)生產專為處理粉體樣品而設計轉瓶等離子清洗機。

◆ 2017 年,自主研發(fā)生產紫外臭氧清洗機系列產品。

◆ 2018 年,在中國成注冊立賽福儀器承德有限公司,將研發(fā)制造業(yè)務全部移至中國。

◆ 2019 年,電鏡專用遠程等離子清洗機研發(fā)成功。

◆ 2021 年,自主研發(fā)生產中試、生產型等離子清洗系列產品,完善了等離子產品線。

◆ 2023 年,科研型等離子去膠機、RIE 蝕刻機研發(fā)成功。

 

公司專注材料表面處理技術:

◆ 改性(等離子清洗機、紫外臭氧清洗機)                   ◆ 去膠(等離子去膠機)

◆ 蝕刻(等離子刻蝕機)                                              ◆ 涂層(等離子濺射鍍膜機、勻膠機、烤膠機)

企業(yè)愿景:

致力于為全球用戶提供專業(yè)的表面處理整體解決方案。

企業(yè)使命:

CIF與我們的員工、客戶乃至商業(yè)伙伴在內的所有人,同呼吸,共命運,共同成長,共同發(fā)展,共同成就夢想!

 

半導體領域儀器設備:等離子清洗機、紫外臭氧清洗機、勻膠機、烤膠機等。

產地類別 進口 價格區(qū)間 10萬-30萬
應用領域 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,食品/農產品,化工,石油

德國SPS-EUROPE 勻膠機

 

產品概述

德國SPS-EUROPE勻膠機具有轉速穩(wěn)定,啟動快速,涂膠一致性和均勻性好等特點,廣泛應用于半導體、化工材料、硅片、晶片、基片、導電玻璃等工藝制版表面涂覆。

工作原理

德國SPS-EUROPE 勻膠機的工作原理是高速旋轉基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,勻膠機常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。

*特征

  • 可編程全尺寸彩色觸摸屏控制器,可拆卸,耐化學試劑腐蝕。速度、加速和時間可編程;無*程序存儲空間,可存儲旋涂多步驟工作協(xié)議,具有協(xié)議密保功能。
  • 可編程轉速范圍: 1rpm-12,000rpm,轉速參數設置范圍廣,高精確性旋轉速度 (± 0.1 rpm)。
  • 數字電機控制,帶增速數字顯示信號反饋,以避免轉速過量,從而提升涂膜的品質。
  • 防靜電PET透明襯套,杜絕工作倉室的交叉污染。
  • 一體化結構設計,殼體采用α-聚丙烯(NPP-H)材質,傳動系統(tǒng)采用工程塑料材質,壽命長耐腐蝕。
  • 采用經過熱處理透明玻璃蓋。玻璃蓋帶彈簧可自動將蓋子固定在理想位置,玻璃蓋上帶注射器固定架和氮氣擴散器,注射器固定架以固定的位移距離和位置注入抗蝕劑/化學試劑,氮氣擴散器在旋涂過程可注入到工作艙氮氣/氬氣,工作艙環(huán)境可控。
  • 安全互鎖裝置:工作艙蓋鎖止,艙蓋打開旋轉自動停止,真空不足或沒有真空旋轉自動停止,過載保護。
  • USB端口:可上傳和下載旋涂協(xié)議和軟件。
  • 三個外接控制端口,可用于接入注入單元自動控制,氮氣擴散器控制等。
  • 產品通過CE認證。

技術參數

 

型號

SPN150i

SPN200i

控制方式

全彩觸摸屏控制界面

全彩觸摸屏控制界面

結構材質

聚丙烯(NPP-H)材質

聚丙烯(NPP-H)材質

旋轉速度

1-12000rpm ±1rpm steps

1-12000rpm ±1rpm steps

旋轉精度

±0.1rpm

±0.1rpm

旋轉方向

順時針,逆時針,交換擺動

順時針,逆時針,交換擺動

加速/減速

1-30,000rpm/秒 (每步可選)

1-30,000rpm/秒 (每步可選)

旋轉時間

 0.1-99999秒/步

 0.1-99999秒/步

基片范圍

160mm 或6"直徑或4"x4"方片

260mm 或6"直徑或6"x6"方片

腔體直徑

202mm

302mm

外接控制端口

3個

3個

真空開關

外形尺寸

27.5x45.0x25.0cm(WxDxH)

380x559x307cm(WxDxH)

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