FT9400X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x搭載著75W高性能X射線管和雙向分離工檢測(cè)器（半導(dǎo)體檢測(cè)器+比例計(jì)數(shù)管），符合“薄膜”、“合金膜”、“極微小部分測(cè)定”等鍍膜厚度測(cè)定要求的高性能膜厚度測(cè)量?jī)x。FT9455還在鍍膜厚度測(cè)定功能的基礎(chǔ)之上增加了異物定性和查資料成分分析的功能。
FT9400X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x特長(zhǎng)
搭載雙向分離工檢測(cè)器（半導(dǎo)體檢測(cè)器+比例計(jì)數(shù)管）：搭載在X射線能量分辨率上，優(yōu)秀的半導(dǎo)體檢測(cè)器（起作用液化氮）和計(jì)數(shù)率優(yōu)秀的比例計(jì)數(shù)管，能夠根據(jù)運(yùn)用需要對(duì)應(yīng)使用。特點(diǎn)是半導(dǎo)體檢測(cè)器，能夠區(qū)分Ni和Cu這樣相似的元素。它有以下的特點(diǎn)：
1.能夠?qū)i/Cu和Au/Ni/Cu不需要二次過(guò)濾的情況下進(jìn)行測(cè)定。
2.對(duì)于含Br的打印基板，可以做到不受Br干擾進(jìn)行高精度的Au鍍膜厚度測(cè)定。
3.能夠測(cè)定0.01μm以下極薄的Au鍍膜。
4.薄膜FP軟件：對(duì)應(yīng)含鉛的合金鍍膜和多層鍍膜等，適用于廣泛的運(yùn)用領(lǐng)域。
5.適用測(cè)定極微小部分,15μmΦ的準(zhǔn)直管為標(biāo)準(zhǔn)裝備。能夠測(cè)定微小部分鍍膜厚度。
6.搭載75W高性能X射線管。
7.容易對(duì)微小領(lǐng)域進(jìn)行觀察。搭載了能4階段切換的可變焦距光學(xué)系統(tǒng)。
8.能夠測(cè)定大型打印基板的大型平臺(tái)。
9.依據(jù)照明，能夠觀察以往難以觀察的樣品。
10.搭載了防止有凹凸的樣品碰撞的傳感器。
11.利用伺服馬達(dá)精確的驅(qū)動(dòng)平臺(tái)。
12.正確的對(duì)焦,利用激光能夠正確得對(duì)焦測(cè)試樣品。
13.報(bào)告制作軟件,運(yùn)用微軟的軟件能夠簡(jiǎn)單得把測(cè)定的數(shù)據(jù)制作成書(shū)面材料。
規(guī)格
型號(hào)FT9455系列
測(cè)定元素原子序號(hào)22（Ti）~83（Bi）
X射線管管電壓：50kV管電流：1.5mA
檢測(cè)器半導(dǎo)體檢測(cè)器+比例計(jì)數(shù)管
準(zhǔn)直器4種（0.015、0.05、0.1、0.2mmΦ）
樣品觀察CCD照相機(jī)（帶可變焦距功能）
對(duì)焦激光向?qū)?br />過(guò)濾器電動(dòng)切換（一次:Mo、二次:Co）
X-rayStation電腦、17英寸CRT
打印噴墨打印機(jī)
膜厚測(cè)定系統(tǒng)薄膜FP法，檢測(cè)線法
材料分析系統(tǒng)體積FP法
測(cè)定功能自動(dòng)測(cè)定、中心檢索、畫(huà)像處理
補(bǔ)正功能材料補(bǔ)正，已知樣品補(bǔ)正
定性功能KL標(biāo)記、比較顯示
統(tǒng)計(jì)處理功能預(yù)裝Microsoft-EXCEL
報(bào)告制作功能預(yù)裝Microsoft-WORD
安全機(jī)能樣品門(mén)鎖定
防止樣品碰撞樣品
裝置診斷功能
電源100V15A