Profilm3D KLA 光學(xué)輪廓儀
- 公司名稱 優(yōu)尼康科技有限公司
- 品牌 KLA-Tencor
- 型號(hào) Profilm3D
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/6/25 10:51:58
- 訪問次數(shù) 4732
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池 |
| 厚度范圍（WLI） | 50nm-10mm | 厚度范圍(PSI) | 0-3μm |
| RMS重復(fù)性(WLI） | 1.0nm | RMS重復(fù)性(PSI） | 0.1nm |
| 臺(tái)階高度準(zhǔn)確度 | 0.7% | 臺(tái)階高度精確度 | 0.1% |
| 樣品反射率范圍 | 0.05%-100% |
KLA Profilm3D 光學(xué)輪廓儀
KLA Profilm3D 光學(xué)輪廓儀產(chǎn)品介紹：
KLA Profilm3D 是一款3D白光干涉輪廓儀。KLA Profilm3D 光學(xué)輪廓儀使用垂直干涉掃描(WLI)技術(shù)與相位干涉(PSI)技術(shù)。以較低的價(jià)格實(shí)現(xiàn)次納米級(jí)的表面形貌研究。采用白光干涉原理，不損傷樣品。
KLA Profilm3D 光學(xué)輪廓儀產(chǎn)品特點(diǎn)優(yōu)勢：
視場范圍：Profilm3D僅用10倍物鏡就提供了達(dá)到2mm的視場范圍，同時(shí)其最大4倍光學(xué)變焦的功能滿足了不同應(yīng)用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需求。這些都進(jìn)一步降低了采購需求成本。
100mm自動(dòng)XY樣品臺(tái)：每臺(tái)Profilm3D光學(xué)輪廓儀都配備100mm自動(dòng)XY樣品臺(tái)，4孔物鏡轉(zhuǎn)臺(tái)和手動(dòng)調(diào)平裝置作為標(biāo)準(zhǔn)配置。
性價(jià)比高：以較低的價(jià)格實(shí)現(xiàn)次納米級(jí)的表面形貌研究。
?非接觸式高精度測量?：垂直分辨率可達(dá)?亞納米級(jí)?（<1nm），適用于敏感材料（如軟質(zhì)聚合物、生物樣本）的無損檢測。
?測量簡單：?Profilm3D光學(xué)輪廓儀軟件能直觀的反應(yīng)包括表面粗糙度，形狀和臺(tái)階高度的測量。在數(shù)秒內(nèi)，您可以獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數(shù)。也可以選擇拼接功能軟件升級(jí)來組合多個(gè)影像以提供大面積測量。
KLA Profilm3D 光學(xué)輪廓儀產(chǎn)品測量原理：
KLA Profilm3D 光學(xué)輪廓儀采用白光作為光源，通過分光鏡將光束分為兩路：一路照射被測樣品表面，另一路投射至參考鏡表面，兩束反射光在CCD相機(jī)上形成干涉條紋。樣品表面的微小高度差導(dǎo)致光程差變化，通過分析干涉條紋的明暗分布及位置偏移，計(jì)算表面各點(diǎn)的相對(duì)高度，生成三維形貌數(shù)據(jù)。
KLA Profilm3D 光學(xué)輪廓儀主要應(yīng)用：
臺(tái)階高度 | 紋理 |
外形 | 應(yīng)力 |
薄膜厚度 | 缺陷檢測 |
KLA Profilm3D 光學(xué)輪廓儀產(chǎn)品參數(shù)：
厚度范圍（WLI） | 50nm-10mm | 厚度范圍(PSI) | 0-3µm |
RMS重復(fù)性(WLI）: | 1.0nm | RMS重復(fù)性(PSI）: | 0.1nm |
臺(tái)階高度準(zhǔn)確度： | 0.7% | 臺(tái)階高度精確度： | 0.1% |
樣品反射率范圍： | 0.05%-100% | ISO25178兼容： | 是 |
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KLA Profilm3D 光學(xué)輪廓儀圖：
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