1概覽

Increase your productivity with our powerfully versatile atomic force microscope

Park XE15具有眾多的*功能，是處理多種樣品的共享實(shí)驗(yàn)室、進(jìn)行多變量實(shí)驗(yàn)的研究院以及晶片故障分析工程師的佳選擇。同時(shí)，合理的價(jià)格和穩(wěn)健的功能使之成為業(yè)內(nèi)*的大型樣品原子力顯微鏡之一。

Unique MultiSample™ scan boosts research productivity

Park XE15原子力顯微鏡能夠一次性掃描和測(cè)量多個(gè)樣品，讓您的效率一高再高。您只需要將樣品放入工作臺(tái)，再啟動(dòng)掃描程序便可。該功能也可以讓您在相同的環(huán)境條件下掃描樣品，從而提高數(shù)據(jù)的精確性和穩(wěn)定性。

Large sample size increases possibilities

Park XE15原子力顯微鏡與大多數(shù)的原子力顯微鏡不同，Park XE15可掃描大尺寸為200 mm x 200 mm的樣品。這樣既滿足了研究員對(duì)掃描大樣品的需求，也讓故障分析工程師能夠掃描硅片。

Features adaptable to any need

Park XE15配有絕大多數(shù)的掃描模式，可掃描各種尺寸的樣品。得益于此，Park XE15是共用實(shí)驗(yàn)室的佳配置，能夠滿足每個(gè)人的需求。

 2技術(shù)信息

The most convenient sample measurements with MultiSample™ scan

Park XE15 MultiSample™ scan system

• 一次性自動(dòng)多樣品成像

• 特別設(shè)計(jì)的多樣品卡盤，可裝載多達(dá)16個(gè)樣品

• 全機(jī)動(dòng)XY軸樣品臺(tái)，行程范圍達(dá)150 mm x 150 mm

借助電動(dòng)樣品臺(tái)，MultiSample™掃描模式能夠允許用戶自行編程，借助自動(dòng)化步進(jìn)掃描，實(shí)現(xiàn)多區(qū)域成像。

流程如下：

1.記錄用戶定義的多個(gè)掃描位置

2.在*個(gè)掃描位置成像

3.提升懸臂

4.將電動(dòng)樣品臺(tái)移至下一個(gè)用戶定義坐標(biāo)

5.探針接近

6.重復(fù)掃描

記錄多個(gè)掃描位置十分簡(jiǎn)單，您可以輸入樣品-樣品臺(tái)坐標(biāo)或使用兩個(gè)參考點(diǎn)校正樣品位置。該自動(dòng)化功能大大減少您在掃描過程中需要的工作，*提高了生產(chǎn)力。