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M-LINE STAGE XYθ(Theta)對(duì)位平臺(tái)直線電機(jī)多軸平臺(tái)
- 公司名稱 蘇州捷士佳自動(dòng)化設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) M-LINE STAGE
- 產(chǎn)地 蘇州
- 廠商性質(zhì) 工程商
- 更新時(shí)間 2023/4/11 16:02:21
- 訪問次數(shù) 1505
直線電機(jī)多軸平臺(tái)精密平臺(tái)XYθ(Theta)直線平臺(tái)STAGEXYθ對(duì)位平臺(tái)
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XYθ(Theta)對(duì)位平臺(tái)直線電機(jī)多軸平臺(tái)基于與伺服控制技術(shù)相互兩全的高性能控制平臺(tái)。
可對(duì)應(yīng)定位精度、速度穩(wěn)定性、長(zhǎng)行程、客制品等各種要求。
也可構(gòu)建X、XY、Xθ(Theta)、XYθ(Theta)軸平臺(tái)。
行程100-21300mm.
XYθ(Theta)對(duì)位平臺(tái)直線電機(jī)多軸平臺(tái)結(jié)構(gòu)緊湊、低組裝,大中空孔,高動(dòng)態(tài)性和優(yōu)異的幾何性能。
平臺(tái)從需要高動(dòng)態(tài)性和微米級(jí)直線度的雙面晶圓加工,到由DX B、ARC無鐵芯電機(jī)驅(qū)動(dòng)的準(zhǔn)靜態(tài)光學(xué)量測(cè),需要高精度和精確的幾何性能。
應(yīng)用場(chǎng)景
對(duì)位平臺(tái)
XYθ對(duì)位平臺(tái)
UVW對(duì)位平臺(tái)
對(duì)位系統(tǒng)
網(wǎng)印視覺對(duì)位
COG視覺對(duì)位
切割對(duì)位系統(tǒng)
曝光對(duì)位系統(tǒng)
貼合機(jī)對(duì)位系統(tǒng)
裝配視覺對(duì)位
該平臺(tái)屬于LMH三軸平臺(tái)系列,具有高分辨率,高重復(fù)定位精度,廣泛應(yīng)用于光學(xué)測(cè)量?jī)x器,晶圓對(duì)準(zhǔn),LCD面板檢測(cè),半導(dǎo)體處理,激光切割和鉆孔,復(fù)合機(jī)等.