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F54-XYT-300 Filmetrics 自動測量光學(xué)膜厚儀

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 優(yōu)尼康科技有限公司
  • 品牌 KLA-Tencor
  • 型號 F54-XYT-300
  • 產(chǎn)地 美國
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2025/6/24 14:03:39
  • 訪問次數(shù) 1598

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優(yōu)尼康科技有限公司成立于 2012 年。在香港、上海、東莞、天津、成都和蘇州設(shè)有分支機(jī)構(gòu)或辦公室。從成立伊始一直專注于精密薄膜測量領(lǐng)域,為半導(dǎo)體、面板等高科技企業(yè)和高校及研發(fā)中心提供精密測量設(shè)備與解決方案。我們秉承“真誠,專注,信賴”的理念,用我們真誠的態(tài)度與行動服務(wù)客戶,專注于為客戶提供好品質(zhì)、適合用戶需求的產(chǎn)品,與每一位客戶建立互相信賴的合作伙伴關(guān)系。我們真誠希望與大家共同成長,共同發(fā)展,一起創(chuàng)造美好的明天。







主動式減震臺,Profilm3D光學(xué)輪廓儀,Filmetrics膜厚測量儀,薄膜厚度測量儀,粗糙度測量,輪廓測量,橢偏儀

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池,汽車及零部件

Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學(xué)膜厚儀




Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學(xué)膜厚儀產(chǎn)品介紹:

Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學(xué)膜厚儀借助F54-XYT-300的光譜反射系統(tǒng),可以快速輕松地測量200 x 200mm樣品的薄膜厚度。電動XY工作臺自動移動到選定的測量點(diǎn)并提供快速的厚度測量,速度達(dá)到每秒兩點(diǎn)。



Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學(xué)膜厚儀產(chǎn)品特點(diǎn)優(yōu)勢:

  • 自動化薄膜厚度繪圖系統(tǒng),快速定位、實(shí)時獲得結(jié)果;

  • 可測樣品膜層:基本上光滑的。非金屬的薄膜都可以測量;

  • 測繪結(jié)果可用2D或3D呈現(xiàn),方便用戶從不同的角度檢視;



Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學(xué)膜厚儀測量原理:

當(dāng)入射光穿透不同物質(zhì)的界面時將會有部分的光被反射,由于光的波動性導(dǎo)致從多個界面的反射光彼此干涉,從而使反射光的多波長光譜產(chǎn)生震蕩的現(xiàn)象。從光譜的震蕩頻率,可以判斷不同界面的距離進(jìn)而得到材料的厚度(越多的震蕩代表越大的厚度),同時也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。



Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學(xué)膜厚儀產(chǎn)品應(yīng)用與膜層范例:

半導(dǎo)體膜層

顯示技術(shù)

消費(fèi)電子

派瑞林

光刻膠

OLED

防水涂層

電子產(chǎn)品/電路板

介電層

ITO和TCOs

射頻識別

磁性材料

砷化鎵

空氣盒厚

太陽能電池

醫(yī)學(xué)器械

微機(jī)電系統(tǒng)

PVD和CVD

鋁制外殼陽極膜

硅橡膠



Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學(xué)膜厚儀產(chǎn)品常見工業(yè)應(yīng)用:

半導(dǎo)體制造

LCD液晶顯示器

光學(xué)鍍層

MEMS微機(jī)電系統(tǒng)

光刻膠

聚酰亞胺

硬涂層

光刻膠

氧化物/氮化物/SOI

ITO透明導(dǎo)電膜

抗反射涂層

硅系膜層

晶圓背面研磨






Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學(xué)膜厚儀產(chǎn)品參數(shù):

波長范圍:

190nm-1700nm

光源:

鎢鹵素?zé)?、氘?/span>

測量nk厚度要求1*:

50nm

測量精度2:

0.02nm

準(zhǔn)確度*:取較大者

1nm或0.2%

穩(wěn)定性3:

0.05nm

樣品大小:

≤直徑300毫米

速度(含有真空平臺):

5個點(diǎn)-8秒

25個點(diǎn)-21秒

56個點(diǎn)-43秒


光斑大小

標(biāo)準(zhǔn)500 微米孔徑

選配250 微米孔徑

選配100 微米孔徑

5X物鏡

100μm

50μm

20μm

10X物鏡

50μm

25μm

10μm

15X物鏡

33μm

17μm

7μm

50X物鏡

10μm

5μm

2μm



Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學(xué)膜厚儀測量圖:






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