EDC-320 氣體質(zhì)量流量控制器
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 博思飛爾（上海）儀器科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) EDC-320
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2023/9/26 9:55:31
- 訪問次數(shù) 175
產(chǎn)品標(biāo)簽
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,生物產(chǎn)業(yè),綜合 |
產(chǎn)品特性
量程范圍：30 SLM ~ 10 SCCM
高精度測量與控制
快響應(yīng)、高重復(fù)性
不受溫度和壓力影響
高壓差適應(yīng)性
工作壓力可達(dá)1500 Psi
數(shù)字通訊、兼容模擬通訊
高品質(zhì)數(shù)字化應(yīng)用
半導(dǎo)體制造
光伏設(shè)備
真空設(shè)備
材料制備
石油化工
工作范圍
| 型號(hào) | 滿量程（N2標(biāo)準(zhǔn)） | 最小滿量程（N2標(biāo)準(zhǔn)） | 工作壓力 |
|---|---|---|---|
EDC-310/1/5/6 | 10 SCCM | 3 SCCM | 500 Psi / 30 Bar |
| EDC-320/1/5/6 | 30 SLM | 10 SCCM | 1500 Psi / 100 Bar |
| EDC-330/1/5/6 | 100 SLM | 30 SLM | 1500 Psi / 100 Bar |
| EDC-340/1/5/6 | 200 SLM | 100 SLM | 500 Psi / 30 Bar |
| EDC-350/1/5/6 | 400 SLM | 200 SLM | 500 Psi / 30 Bar |
| EDC-360/1/5/6 | 1000 SLM | 400 SLM | 500 Psi / 30 Bar |
性能指標(biāo)
| 流量精度 | ±0.8% R.D and ±0.2% F.S （<100 SLM）； ±0.8% R.D and ±0.2% F.S（>100 SLM） |
| 重復(fù)性 | ±0.2% F.S |
| 控制范圍 | 1~滿量程 |
| 響應(yīng)時(shí)間 | <1s |
| 溫度系數(shù) | Zero: <0.05% of F.S./℃. Span: <0.1% of S.P. /℃ |
| 壓力系數(shù) | 0.2% of S.P. / Bar |
| 工作溫度 | 0~50 ℃ |
| 泄漏率 | 1x10-9 atm. cc/sec He |
| 預(yù)熱時(shí)間 | 5 min精度達(dá)到±2% F.S（30 min達(dá)到精度） |
電氣參數(shù)
| 電源 | ＋14~27V |
| 功耗 | 10W（MFC）；3W（MFM） |
| 數(shù)字通訊 | RS-485 |
| 模擬通訊 | 0-5V / 4-20mA |
| 電氣接口 | 9Pin D-Connector（Male） |
機(jī)械參數(shù)
| 閥門類型 | 常閉閥（MFM無意義） |
| 基體材質(zhì) | 316L不銹鋼 |
| 密封材質(zhì) | 氟橡膠；三元乙丙橡膠；全氟橡膠 |
| 氣路接口 | 公制和英制卡套 / VCR |
尺寸結(jié)構(gòu)
| 型號(hào) | A | B | C | D | H | E | F | G | M | 重量（kg） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| EDC-31x | 76 | 124 | 13 | 31 | 125 | 56 | 17 | 10 | M4 | 0.6 |
| EDC-32x | 76 | 124 | 13 | 31 | 125 | 56 | 17 | 10 | M4 | 0.6 |
| EDC-33x | 76 | 124 | 13 | 31 | 125 | 56 | 17 | 10 | M4 | 0.6 |
| EDC-34x | 76 | 124 | 13 | 31 | 125 | 56 | 17 | 10 | M4 | 0.6 |
| EDC-35x | 76 | 124 | 13 | 31 | 125 | 56 | 17 | 10 | M4 | 0.6 |
| EDC-36x | 76 | 124 | 13 | 31 | 125 | 56 | 17 | 10 | M4 | 0.6 |
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