EDC-345 氣體質(zhì)量流量控制器
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 博思飛爾(上海)儀器科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 EDC-345
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2023/9/26 14:32:13
- 訪問次數(shù) 162
產(chǎn)品標(biāo)簽
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 其他 |
---|---|---|---|
價格區(qū)間 | 面議 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,生物產(chǎn)業(yè),石油,綜合 |
產(chǎn)品特性
量程范圍:200 SLM ~ 100 SLM
高精度測量與控制
快響應(yīng)、高重復(fù)性
不受溫度和壓力影響
高壓差適應(yīng)性
工作壓力可達(dá)500 Psi
數(shù)字通訊、兼容模擬通訊
高品質(zhì)數(shù)字化應(yīng)用
半導(dǎo)體制造
光伏設(shè)備
真空設(shè)備
材料制備
石油化工
工作范圍
型號 | 滿量程(N2標(biāo)準(zhǔn)) | 最小滿量程(N2標(biāo)準(zhǔn)) | 工作壓力 |
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EDC-310/1/5/6 | 10 SCCM | 3 SCCM | 500 Psi / 30 Bar |
EDC-320/1/5/6 | 30 SLM | 10 SCCM | 1500 Psi / 100 Bar |
EDC-330/1/5/6 | 100 SLM | 30 SLM | 1500 Psi / 100 Bar |
EDC-340/1/5/6 | 200 SLM | 100 SLM | 500 Psi / 30 Bar |
EDC-350/1/5/6 | 400 SLM | 200 SLM | 500 Psi / 30 Bar |
EDC-360/1/5/6 | 1000 SLM | 400 SLM | 500 Psi / 30 Bar |
性能指標(biāo)
流量精度 | ±0.8% R.D and ±0.2% F.S (<100 SLM); ±0.8% R.D and ±0.2% F.S(>100 SLM) |
重復(fù)性 | ±0.2% F.S |
控制范圍 | 1~滿量程 |
響應(yīng)時間 | <1s |
溫度系數(shù) | Zero: <0.05% of F.S./℃. Span: <0.1% of S.P. /℃ |
壓力系數(shù) | 0.2% of S.P. / Bar |
工作溫度 | 0~50 ℃ |
泄漏率 | 1x10-9 atm. cc/sec He |
預(yù)熱時間 | 5 min精度達(dá)到±2% F.S(30 min達(dá)到精度) |
電氣參數(shù)
電源 | +14~27V |
功耗 | 10W(MFC);3W(MFM) |
數(shù)字通訊 | RS-485 |
模擬通訊 | 0-5V / 4-20mA |
電氣接口 | 9Pin D-Connector(Male) |
機械參數(shù)
閥門類型 | 常閉閥(MFM無意義) |
基體材質(zhì) | 316L不銹鋼 |
密封材質(zhì) | 氟橡膠;三元乙丙橡膠;全氟橡膠 |
氣路接口 | 公制和英制卡套 / VCR |
尺寸結(jié)構(gòu)
型號 | A | B | C | D | H | E | F | G | M | 重量(kg) |
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EDC-31x | 76 | 124 | 13 | 31 | 125 | 56 | 17 | 10 | M4 | 0.6 |
EDC-32x | 76 | 124 | 13 | 31 | 125 | 56 | 17 | 10 | M4 | 0.6 |
EDC-33x | 76 | 124 | 13 | 31 | 125 | 56 | 17 | 10 | M4 | 0.6 |
EDC-34x | 76 | 124 | 13 | 31 | 125 | 56 | 17 | 10 | M4 | 0.6 |
EDC-35x | 76 | 124 | 13 | 31 | 125 | 56 | 17 | 10 | M4 | 0.6 |
EDC-36x | 76 | 124 | 13 | 31 | 125 | 56 | 17 | 10 | M4 | 0.6 |