EDC-520A 氣體質(zhì)量流量控制器
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 博思飛爾（上海）儀器科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) EDC-520A
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2023/9/26 15:28:38
- 訪問(wèn)次數(shù) 134
產(chǎn)品標(biāo)簽
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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),石油,能源,綜合 |
產(chǎn)品特性
量程范圍：30 SLM ~ 10 SCCM
高精度測(cè)量與控制
快響應(yīng)、高重復(fù)性
長(zhǎng)期零點(diǎn)穩(wěn)定性
全金屬密封流路
工作壓力可達(dá)500 Psi
多介質(zhì)/多量程可調(diào)節(jié)功能
DeviceNet、RS-485和模擬接口
半導(dǎo)體制造工藝
薄膜沉積系統(tǒng)
外延工藝系統(tǒng)
精密表面涂層系統(tǒng)
高真空設(shè)備
分析系統(tǒng)
工作范圍
| 型號(hào) | 滿量程（N2標(biāo)準(zhǔn)） | 最小滿量程（N2標(biāo)準(zhǔn)） | 工作壓力 |
|---|---|---|---|
EDC-510/1 | 10 SCCM | 3 SCCM | 500 Psi / 30 Bar |
| EDC-520/1 | 30 SLM | 10 SCCM | 500 Psi / 30 Bar |
注：SCCM(標(biāo)準(zhǔn)毫升每分鐘） SLM（標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘） 標(biāo)準(zhǔn)狀況（0℃、101.3Kpa）
性能指標(biāo)
| 流量精度 | ±0.8% R.D and ±0.2% F.S |
| 重復(fù)性 | ±0.2% F.S |
| 控制范圍 | 1~滿量程 |
| 響應(yīng)時(shí)間 | <1s |
| 溫度系數(shù) | Zero: <0.05% of F.S./℃. Span: <0.1% of S.P. /℃ |
| 壓力系數(shù) | 0.2% of S.P. / Bar |
| 工作溫度 | 0~50 ℃ |
| 泄漏率 | 1x10-9 atm. cc/sec He |
| 預(yù)熱時(shí)間 | 5 min精度達(dá)到±2% F.S（30 min達(dá)到精度） |
電氣參數(shù)
| 電源 | ＋15~24Vdc |
| 功耗 | 10W（MFC）；3W（MFM） |
| 數(shù)字通訊 | RS-485/DeviceNet |
| 模擬通訊 | 0-5V / 4-20mA |
| 電氣接口 | 9-pin D-Connector (male) / DeviceNet Connector |
機(jī)械參數(shù)
| 閥門類型 | 常閉閥（MFM無(wú)意義） |
| 基體材質(zhì) | 316L不銹鋼 |
| 密封材質(zhì) | 橡膠密封；金屬密封； |
| 氣路接口 | 1/4” VCR / IGS |
尺寸結(jié)構(gòu)
| 型號(hào) | A | B | C | D | H | E | F | G | M | 重量（kg） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| EDC-510A/1A | 74 | 106 | 92 | 31 | 125 | 92 | 22 | 7 | 5.8 | 0.6 |
| EDC-520A/1A | 74 | 106 | 92 | 31 | 125 | 92 | 22 | 7 | 5.8 | 0.6 |
| EDC-510B/1B | 74 | 106 | 92 | 31 | 125 | 92 | 22 | 7 | 5.8 | 0.6 |
| EDC-520B/1B | 74 | 106 | 92 | 31 | 125 | 92 | 22 | 7 | 5.8 | 0.6 |
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