半自動酸洗清洗系統(tǒng)

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產(chǎn)品標(biāo)簽

酸洗 RCA 清洗機

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公司介紹 主營產(chǎn)品

深圳正陽工業(yè)清洗設(shè)備有限公司成立于2008年，經(jīng)過15余年來的發(fā)展，如今已在華東、西南、廈門等地區(qū)設(shè)立服務(wù)辦事處。

公司通過了IS09001質(zhì)量管理體系、IS014001環(huán)境管理體系和職業(yè)健康管理體系，是專精特新企業(yè)，擁有多項自主知識產(chǎn)權(quán)，與多所高校建立了長期技術(shù)研發(fā)合作關(guān)系。

公司集產(chǎn)品開發(fā)、生產(chǎn)、銷售及提供高要求智能清洗整體解決方案于一體，致力于在智能清洗領(lǐng)域做專、做實、做精、做透、做特！

通過敬業(yè)、職業(yè)、專業(yè)的服務(wù)，深得客戶的信賴，與上百家企業(yè)建立了長期的伙伴合作關(guān)系，贏得了市場和業(yè)界的尊重！

展開

RCA濕法清洗機，干法等離子清洗機等

濕法清洗技術(shù)，又可以分為化學(xué)方法和物理方法兩個方向。

化學(xué)方法主要通過將硅片浸入不同的化學(xué)藥劑從而達到清洗的目的，根據(jù)藥劑的不同又有RCA清洗、改進RCA清洗、臭氧清洗、IMEC清洗等多條分支。

RCA清洗法是用于晶圓清洗的一種清洗工藝方法，也是目前工業(yè)界廣泛采用的清洗工藝方法。

清洗的一般思路是首先去除硅片表面的有機沾污，因為有機物會遮蓋部分硅片表面，從而使氧化膜和與之相關(guān)的沾污難以去除；然后溶解氧化膜，因為氧化層是“沾污陷阱”，也會引入外延缺陷；最后再去除顆粒、金屬等沾污，同時使硅片表面鈍化。