DISC-ICP-601/801/1201/ 感應耦合等離子體刻蝕機（ICP）
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 北京中科復華科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 DISC-ICP-601/801/1201/
- 產(chǎn)地 北京
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/4/7 9:33:40
- 訪問次數(shù) 163
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應用方向：科研與教學
產(chǎn)品優(yōu)勢：耐氯基強腐蝕氣體，帶雙片送取樣室（Load-Lock）
產(chǎn)品配置：
★樣片數(shù)量及尺寸：1片Ф6英寸
★刻蝕材料：包括并不限于GaN、GaAs、InP、Al、Cr、單晶硅、多晶硅、SiO2、Si3N4、Ti、W、Mo、聚合物等。
★刻蝕腔體：高真空系統(tǒng)
★Load-Lock：低真空系統(tǒng) 或 高真空系統(tǒng)。雙片裝，樣品自動運送。
★刻蝕不均勻性：±3%-±6%
★刻蝕速率：0.1-4μm/min（視具體材料與工藝）
★工作臺：可升降，包含水冷
★電源配置：上電射頻，下電偏壓，包含自動匹配
★氣路數(shù)量與種類：6路氣路，其中2路耐腐蝕VCR焊接 或 用戶選配
★深硅刻蝕系統(tǒng)：可選配
★He冷背吹系統(tǒng)：可選配
★終點檢測控制：可選配質(zhì)譜儀
★操作模式：全自動+半自動控制
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