應用方向：科研與教學

產(chǎn)品優(yōu)勢：多功能，電子槍+熱阻蒸發(fā)，膜厚監(jiān)控 

產(chǎn)品配置：

★樣片數(shù)量及尺寸： 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或傘形工件架（用戶定制）

★蒸發(fā)材料：金屬；非金屬；化合物等薄膜材料。

★蒸發(fā)腔體：高真空系統(tǒng)。

★蒸發(fā)不均勻性：≤±3%-±5％

★工件架：可旋轉，轉速可調(diào)

★加熱：常規(guī)加熱

★電子槍：E型，帶XY偏轉掃描

★電子槍坩堝：6穴，17cc

★膜厚監(jiān)控功能：石英晶控膜厚在線監(jiān)測與終點控制

★清洗功能：可選配離子源清洗

★器件一次成型復合實驗系統(tǒng)：通過復合mask系統(tǒng)與樣品對準系統(tǒng)，一次完成器件的多個工藝步驟

★檢測與控制光學特性功能：可選配光控儀

★操作模式：全自動+半自動控制

類似產(chǎn)品： 大樣片蒸發(fā)鍍膜（MEB-800）