PSM-LHe系列 液氦低溫探針臺(tái)
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室溫探針臺(tái)、低溫探針臺(tái)、全自動(dòng)探針臺(tái)、半自動(dòng)探針臺(tái)、科研超導(dǎo)磁體系統(tǒng)、液氦&液氮低溫恒溫器、閉循環(huán)低溫恒溫器、霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)、三維磁場(chǎng)測(cè)試平臺(tái)、溫控儀等產(chǎn)品。
液氦低溫探針臺(tái)在科學(xué)研究和技術(shù)開發(fā)中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。它能夠在低溫環(huán)境下對(duì)樣品進(jìn)行各種非破壞性的物理性能和電學(xué)性能測(cè)試，幫助研究人員深入了解材料或者器件的各種物理性能和電學(xué)性能，從而為新材料的研發(fā)和應(yīng)用提供重要的數(shù)據(jù)支持。
PSM-LHe系列液氦低溫探針臺(tái)能夠?yàn)榘雽?dǎo)體芯片的電學(xué)參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)4K-475K高低溫真空測(cè)試環(huán)境，通過(guò)外接不同的電學(xué)測(cè)量?jī)x器，可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及IV曲線等參數(shù)檢測(cè)，用于低溫真空環(huán)境下的芯片、晶圓和器件的非破壞性電學(xué)測(cè)試。
特點(diǎn)
• 液氦低溫真空探針臺(tái)，腔體真空度可達(dá)到10E-4torr。
• 探針臂的位移調(diào)節(jié)在真空腔外操作，可以在不破壞真空的情況下，切換樣品上的不同器件進(jìn)行測(cè)試。
• 探針臂 X-Y-Z-R四維調(diào)節(jié)，能滿足4英寸樣品的測(cè)試。最多可同時(shí)安裝6個(gè)探針臂，探針臂可選直流臂、光纖臂、微波臂等。
• 真空腔材質(zhì)為鋁制材料，能夠有效減小外界的電磁干擾提高測(cè)試的精準(zhǔn)度和穩(wěn)定性。
• 探針臂采用三同軸接頭，漏電性能好，實(shí)測(cè)漏電流小于30fA@1V@4K--475K。
• 測(cè)試溫度范圍寬，支持4K-475K連續(xù)變溫。
參數(shù)和指標(biāo)：
| 探針臺(tái)主機(jī)分類 | ||
| 型號(hào) | PSM-LHe-2 | PSM-LHe-4 |
| 溫度范圍 | 4K--325K | 4K--325K |
| 控溫穩(wěn)定性 | +/-50mK | |
| 樣品座 | ||
| 類型及材料 | 無(wú)氧銅接地鍍金樣品座 | |
| 尺寸 | 2寸 | 4寸 |
| 可選規(guī)格 | 絕緣樣品座 （溫度只能到400K） 同軸樣品座 （溫度只能到400K） 三同軸樣品座（溫度只能到400K） | |
| 探針臂 | ||
| 類型 | 直流探針臂（標(biāo)準(zhǔn)） | |
| 可訂制規(guī)格 | 微波探針臂、光纖探針臂、熱電偶探針臂 | |
| 數(shù)量 | 4 | |
| 接頭及電纜 | 三同軸接頭+極細(xì)同軸低溫電纜 | |
| 漏電流 | 30fA@1V 真空環(huán)境中 | |
| 信號(hào)頻率 | DC--50MHz | |
| 匹配阻抗 | 50歐姆 | |
| 位移范圍 | X+/- 12.5mm,Y+/- 50mm Z +/-7.5mm, R+/-10° | X+/- 12.5mm,Y+/- 50mm Z +/-7.5mm, R+/-10° |
| 光學(xué)系統(tǒng) | ||
| 顯微鏡放大倍數(shù) | 500倍 | |
| 分辨率 | 小于2微米 | |
| 視場(chǎng) | 22mm | |
| 工作距離 | 90--100mm | |
| 真空腔 | ||
| 材料 | 鋁合金 | |
| 真空腔尺寸 | 8英寸 | |
| 視窗尺寸 | 2英寸 | 4英寸 |
| 真空腔體窗口 | 紅外吸收窗口 | |
| 內(nèi)層 | 標(biāo)準(zhǔn)石英窗口 | |
| 真空度 | 5E-4 torr | |
| 預(yù)留接口 | 2個(gè)探針臂接口&2個(gè)電學(xué)接口 | |
| 防輻射屏材料 | 不銹鋼 | |
| 專用振動(dòng)隔離桌 | ||
| 尺寸 | 800*800*800 | 900*900*800 |
| 桌推 | 固定腳&滾輪 | |
| 減振 | 重力減振&氣浮減振墊 | |
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