HX12N系列 半自動探針臺
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產品標簽
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室溫探針臺、低溫探針臺、全自動探針臺、半自動探針臺、科研超導磁體系統(tǒng)、液氦&液氮低溫恒溫器、閉循環(huán)低溫恒溫器、霍爾效應測試系統(tǒng)、三維磁場測試平臺、溫控儀等產品。
HX12N系列半自動探針臺配置高精度的直線電機滑臺模組，行程滿足8英寸、12英寸芯片的測試。定位精度高，反應速度快以及使用壽命長等優(yōu)勢，滑臺同時配備了高精度的光柵反饋系統(tǒng)，保證了運行精度的可靠性，并且該模組為本公司自研產品，保證了模組的成品質量和生產周期，為探針臺的測試提供了又快又準的硬件保障。
軟件功能介紹
• 可測試圓片，測試范圍可選，支持隔行抽測和環(huán)形測試，MAP圖可以編輯測試；
• 支持壞點重測；
• 具備離線打點、同步打點功能；
• 具備接觸緩沖功能，針痕穩(wěn)定；
• 運行精度補償功能，保證測試的穩(wěn)定性；
• 測試良率、總數(shù)、速度顯示；
• CCD圖像自動對準和定位；
• 設備具備一定的抗干擾能力，支持高低溫測試，運行穩(wěn)定；
• 多BIN分類測試，測試數(shù)據(jù)可以存儲，可以導出，兼容后道設備格式使用，具有數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析功能；
• 操作員，管理員，系統(tǒng)廠家權限管理功能
參數(shù)和指標：
| 性能名稱 | 技術指標 | |
| 可測片徑 | 8″、12″ | |
| XY工作臺 | 結構 | 直線電機 |
| 行程 | 230mm × 220mm，分辨率：1μm | |
| 速度 | ＞200mm/s | |
| 定位精度 | ≤±2μm | |
| 承片臺 | Z向行程 | 10mm，分辨率：1μm |
| Z臺精度 | ≤±1μm | |
| Z向分辨率 | ≤±0.5μm | |
| θ向調節(jié)范圍 | ±25° | |
| θ向分辨率 | 0.006° | |
| 顯微鏡/視頻顯示系統(tǒng) | 雙目體視顯微鏡/可選配三目顯微鏡及CCD實時視頻顯示裝置 | |
| 控溫范圍 | -45℃~150 ℃ | |
| 溫度設置分辨率 | 0.1 ℃ | |
| 溫度均勻性 | -45°C 至 +150°C < ±1 °C，>150 °C < ±1 % | |
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