HX80N系列 半自動(dòng)探針臺(tái)
- 公司名稱 上海柯舜科技有限公司
- 品牌 上??滤?/b>
- 型號(hào) HX80N系列
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/6/17 14:00:26
- 訪問(wèn)次數(shù) 31
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室溫探針臺(tái)、低溫探針臺(tái)、全自動(dòng)探針臺(tái)、半自動(dòng)探針臺(tái)、科研超導(dǎo)磁體系統(tǒng)、液氦&液氮低溫恒溫器、閉循環(huán)低溫恒溫器、霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)、三維磁場(chǎng)測(cè)試平臺(tái)、溫控儀等產(chǎn)品。
HX80N系列半自動(dòng)探針臺(tái)是定制類適用于傳感器晶圓測(cè)試綜合型晶圓探針臺(tái),具有很好的測(cè)試精度,可搭配定制型儀表系統(tǒng),完成諸如光電傳感器、壓力傳感器和氣體傳感器等測(cè)試。
軟件功能介紹
• 可測(cè)試圓片,測(cè)試范圍可選,支持隔行抽測(cè)和環(huán)形測(cè)試MAP圖可以編輯測(cè)試;
• 支持壞點(diǎn)重測(cè);
• 具備離線打點(diǎn)、同步打點(diǎn)功能;
• 具備接觸緩沖功能,針痕穩(wěn)定;
• 運(yùn)行精度補(bǔ)償功能,保證測(cè)試的穩(wěn)定性;
• 測(cè)試良率、總數(shù)、速度顯示;
• CCD圖像自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)和定位;
• 設(shè)備具備一定的抗干擾能力,支持高低溫測(cè)試,運(yùn)行穩(wěn)定;
• 多BIN分類測(cè)試,測(cè)試數(shù)據(jù)可以存儲(chǔ),可以導(dǎo)出,兼容后道設(shè)備格式使用,具有數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析功能;
• 操作員,管理員,系統(tǒng)廠家權(quán)限管理功能
參數(shù)和指標(biāo):
性能名稱 | 技術(shù)指標(biāo) | |
可測(cè)片徑 | 6″、12″ | |
XY工作臺(tái) | 結(jié)構(gòu) | 直線電機(jī) |
行程 | 350mm × 400mm,分辨率:1μm | |
速度 | >150mm/s | |
定位精度 | ≤±2μm | |
承片臺(tái) | Z向行程 | 10mm,分辨率:1μm |
Z臺(tái)精度 | ≤±1μm | |
Z向分辨率 | ≤±0.5μm | |
θ向調(diào)節(jié)范圍 | ±25° | |
θ向分辨率 | 0.006° | |
顯微鏡/視頻顯示系統(tǒng) | 雙目體視顯微鏡/可選配三目顯微鏡及CCD實(shí)時(shí)視頻顯示裝置 |