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那諾中國有限公司

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當(dāng)前位置：那諾中國有限公司>>公司動(dòng)態(tài)>>那諾-馬斯特兆聲波大型全自動(dòng)分劃板清洗機(jī)在美國售出

產(chǎn)品分類品牌分類

刻蝕系統(tǒng): RIE反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng) ICP及DRIE刻蝕系統(tǒng) IBE離子束刻蝕系統(tǒng) RIE-PE刻蝕機(jī)

沉積系統(tǒng): Parylene派瑞林真空鍍膜系統(tǒng) 進(jìn)口光學(xué)鍍膜機(jī) TE熱蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng) E-Beam電子束蒸發(fā)系統(tǒng) 磁控濺射系統(tǒng) PECVD等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) PLD脈沖激光沉積

生長系統(tǒng): MOCVD設(shè)備 ALD原子層沉積系統(tǒng) MOVPE設(shè)備

清洗去膠系統(tǒng): 等離子去膠清洗及灰化系統(tǒng) 單晶圓/掩模版兆聲清洗機(jī) 大基片清洗/去膠/濕法刻蝕 MW微波等離子清洗去膠系統(tǒng) 離子束清洗系統(tǒng) 研發(fā)用等離子去膠機(jī)

熱真空試驗(yàn)系統(tǒng): 熱真空試驗(yàn)箱熱真空環(huán)境模擬試驗(yàn)設(shè)備空間環(huán)境模擬試驗(yàn)設(shè)備熱真空系統(tǒng)

核心組件: Platens樣品臺等離子體源

檢測系統(tǒng): 飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀

量測系統(tǒng): 晶圓厚度測量儀接觸角測量儀薄膜曲率應(yīng)力測量儀

晶圓加工設(shè)備: 晶圓劃片機(jī)

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那諾-馬斯特兆聲波大型全自動(dòng)分劃板清洗機(jī)在美國售出

時(shí)間：2015-8-6閱讀：2984

祝賀Nano-Master(那諾-馬斯特)公司新近研發(fā)的LSC系列大型全自動(dòng)分劃板清洗機(jī)已在美國售出。該套系統(tǒng)作為帶保護(hù)膜分劃板無損清洗的系統(tǒng)的正式售出，代表了NANO-MASTER無損兆聲清洗的技術(shù)在工業(yè)化量產(chǎn)上的真正成功，實(shí)現(xiàn)了計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制、全自動(dòng)上下載片、無損兆聲清洗技術(shù)的結(jié)合。