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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

單片清洗機(jī)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)KS-S300-SR

品牌芯源

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地沈陽市

更新時(shí)間:2025-06-05 20:17:42瀏覽次數(shù):506次

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用于晶圓級(jí)封裝及OLED中的清洗工藝,配合清洗化學(xué)藥液、高壓水清洗、常壓水清洗、兆聲波清洗、二流體水清洗、毛刷和噴灑清洗劑等手段,可有效去除晶圓表面顆粒、有機(jī)物、金屬離子等雜質(zhì),同時(shí)適用于TSV后深孔內(nèi)含氟聚合物的清洗。

1. 產(chǎn)品概述

該設(shè)備專為晶圓封裝及OLED制造中的清洗工藝而設(shè)計(jì),通過多種清洗手段的結(jié)合,能夠?qū)崿F(xiàn)清洗效果。配合高效的清洗化學(xué)藥液,設(shè)備有效去除晶圓表面的顆粒物、有機(jī)物、金屬離子等各種雜質(zhì),確保封裝和整體性能的可靠性和穩(wěn)定性。

在高壓水清洗的過程中,強(qiáng)大的水流能夠深入清洗晶圓表面的微小縫隙,進(jìn)一步去除附著的污染物。而常壓水清洗則為敏感材料提供了一種相對(duì)溫和的清洗方法,避免了因壓力過大而造成的潛在損傷。此外,兆聲波清洗技術(shù)通過產(chǎn)生高頻聲波產(chǎn)生微小氣泡,在清洗過程中有效去除難以清洗的頑固雜質(zhì),從而提升整體的清洗效率。

二流體水清洗技術(shù)則通過將水與氣體混合,形成高度滲透的清洗介質(zhì),進(jìn)一步增強(qiáng)了清洗的均勻性。同時(shí),結(jié)合毛刷清洗與噴灑清洗劑的手段,可以針對(duì)特定的污染物進(jìn)行定點(diǎn)清洗,更加精確高效。這種多層次的清洗流程不但提升了清洗效果,也縮短了整體作業(yè)時(shí)間。

2. 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

清洗機(jī)可以提供持續(xù)穩(wěn)定的液體壓力輸出,以保證工藝效果和產(chǎn)能。

在不損傷圖形的提下,提供較強(qiáng)的兆聲波能量,加速液體分子沖擊力,以去除深孔、深溝槽內(nèi)的污染物。
液體流量、壓力以及溫度等參數(shù)控制的穩(wěn)定性,為產(chǎn)品的一致性提供了有力支撐。

3. 應(yīng)用域:

封裝域中的表面顆粒污染物去除
TSV深孔內(nèi)含氟聚合物去除
OLED域中基板來料清洗、成膜清洗、硼磷清洗及蒸鍍基板清洗等


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