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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

  • 深硅刻蝕機

    深硅刻蝕機PSE V300主要用于12英寸深硅刻蝕,同時兼具Bosch/Non-Bosch工藝,實現(xiàn)多工藝領(lǐng)域覆蓋。該機臺針對Bosch循環(huán)工藝方式采用專業(yè)先進(jìn)...
    型號: PSE V300 所在地:深圳市 參考價: 面議 更新時間:2025/6/6 14:59:45 對比
  • 深硅刻蝕機

    深硅刻蝕機HSE P300主要用于12英寸硅刻蝕。采用Cluster結(jié)構(gòu)布局,能夠減小占地,提升產(chǎn)能。系統(tǒng)主要由傳輸模塊、工藝模塊、灰區(qū)部件、電源柜等組成。可實...
    型號: HSE系列 所在地:深圳市 參考價: 面議 更新時間:2025/6/6 14:57:46 對比
  • 等離子刻蝕集群系統(tǒng)

    SENTECH 集群系統(tǒng)包括等離子體蝕刻和/或沉積模塊、一個轉(zhuǎn)移室和一個真空負(fù)載鎖或盒式站。包括搬運機器人在內(nèi)的轉(zhuǎn)移室有三到六個端口。最多可以使用兩個盒式磁帶站...
    型號: SENTECH 集... 所在地:德國 參考價: 面議 更新時間:2025/6/6 9:46:34 對比
  • AL實時監(jiān)控器

    SENTECH AL 實時監(jiān)測器是一種經(jīng)過驗證的光學(xué)診斷工具,可實現(xiàn)單個 ALD 和 ALE 周期的超高分辨率。主要應(yīng)用是在不破壞真空的情況下分析薄膜特性(生長...
    型號: SENTECH A... 所在地:德國 參考價: 面議 更新時間:2025/6/6 9:33:06 對比
  • RIE等離子刻蝕系統(tǒng)

    SENTECH SI 500 CCP 系統(tǒng)使用動態(tài)溫度控制和氦背冷卻,代表了材料蝕刻靈活性的優(yōu)勢。等離子體蝕刻過程中的襯底溫度設(shè)置和穩(wěn)定性是高質(zhì)量蝕刻的嚴(yán)格標(biāo)準(zhǔn)...
    型號: SENTECH S... 所在地:德國 參考價: 面議 更新時間:2025/6/6 9:17:58 對比
  • 等離子刻蝕系統(tǒng)RIE

    SENTECH SI 591 緊湊型 RIE 等離子蝕刻系統(tǒng)具有負(fù)載鎖定功能,是氯基和氟基 RIE 的緊湊型解決方案。
    型號: SENTECH S... 所在地:德國 參考價: 面議 更新時間:2025/6/6 9:02:20 對比
  • RIE等離子蝕刻系統(tǒng)

    SENTECH Etchlab 200 RIE等離子蝕刻系統(tǒng)代表了一系列直接加載等離子體蝕刻系統(tǒng),結(jié)合了RIE平行板電極設(shè)計的優(yōu)點和直接負(fù)載的成本效益設(shè)計。
    型號: SENTECH E... 所在地:德國 參考價: 面議 更新時間:2025/6/6 8:54:22 對比
  • 低溫ICP-RIE等離子體刻蝕系統(tǒng)

    SENTECH SI 500 C 低溫 ICP-RIE 等離子體蝕刻系統(tǒng)代表了電感耦合等離子體 (ICP) 處理的前沿技術(shù),其最寬溫度范圍為 -150 ...
    型號: SENTECH S... 所在地:德國 參考價: 面議 更新時間:2025/6/6 8:47:43 對比
  • 反應(yīng)性離子刻蝕系統(tǒng)RIE

    PlasmaPro 800系列是結(jié)構(gòu)緊湊、且使用方便的直開式系統(tǒng),該系統(tǒng)為大批量晶圓和300mm晶圓上的反應(yīng)離子蝕刻(RIE)工藝提供了靈活的解決方案。大尺寸的...
    型號: PlasmaPro... 所在地:英國 參考價: 面議 更新時間:2025/6/6 8:07:34 對比
  • 反應(yīng)性離子刻蝕系統(tǒng)RIE

    PlasmaPro 80是一種結(jié)構(gòu)緊湊、小尺寸且使用方便的直開式系統(tǒng),可以提供多種刻蝕和沉積的解決方案。 它易于放置,便于使用,且能確保工藝性能。直開式設(shè)計可實...
    型號: PlasmaPro... 所在地:深圳市 參考價: 面議 更新時間:2025/6/6 7:47:48 對比
  • 單晶圓刻蝕系統(tǒng)

    憑借在蝕刻GaN,SiC和藍(lán)寶石等材料方面的豐富經(jīng)驗,我們的技術(shù)既能夠滿足性價比的要求、又能使器件的性能得到更優(yōu)化。PlasmaPro 100 Polaris單...
    型號: PlasmaPro... 所在地:英國 參考價: 面議 更新時間:2025/6/6 7:27:42 對比
  • 電感耦合等離子體刻蝕

    PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE系統(tǒng)利用高密度電感耦合等離子體實現(xiàn)快速刻蝕速率。該工藝模塊可提供出色的均勻性、高吞吐量、高精度和低損傷工藝...
    型號: PlasmaPro... 所在地:英國 參考價: 面議 更新時間:2025/6/6 7:25:56 對比
  • 離子束刻蝕機

    EIS-1500是由ELIONIX研發(fā)的108mm的大直徑光束,通過充分利用光束面內(nèi)分布監(jiān)控功能,可以實現(xiàn)各向異性干法蝕刻的離子束刻蝕機。
    型號: EIS-1500 所在地:日本 參考價: 面議 更新時間:2025/6/6 7:21:41 對比
  • 離子束刻蝕機

    EIS-200ERP是由ELIONIX研發(fā)的離子束刻蝕機,緊湊和高性能,使用 ECR 離子束可以進(jìn)行納米蝕刻和沉積,制品特微。
    型號: EIS-200ER... 所在地:日本 參考價: 面議 更新時間:2025/6/6 7:18:17 對比
  • 緊透尺寸檢測系統(tǒng)

    可靠、快速和可重復(fù)的手動和自動檢測基于VoidInspect的自動氣泡計算易于使用的動態(tài)增強過濾功能,例如eHDR使用micro3Dslice和FF CT軟件的...
    型號: Cougar EV... 所在地:深圳市 參考價: 面議 更新時間:2025/6/5 21:51:43 對比
  • 8英寸電感耦合等離子體-深硅刻蝕設(shè)備

    Pishow® D 系列深刻蝕設(shè)備,是針對8英寸~6英寸產(chǎn)線或科研深硅刻蝕工藝的專用設(shè)備,擁有自主開發(fā)的優(yōu)化設(shè)計,保證了優(yōu)異的刻蝕精度控制和損傷控制。...
    型號: Pishow... 所在地:徐州市 參考價: 面議 更新時間:2025/6/5 21:29:54 對比
  • 8英寸金屬刻蝕設(shè)備

    Kessel™ Pishow® M 金屬刻蝕設(shè)備為可用于8英寸的IC產(chǎn)線鋁金屬工藝的量產(chǎn)型機臺,基于自有開發(fā)的優(yōu)化設(shè)計,保證了優(yōu)異的刻蝕均...
    型號: Kessel... 所在地:徐州市 參考價: 面議 更新時間:2025/6/5 21:25:35 對比
  • 8英寸硅刻蝕設(shè)備

    Tebaank® Pishow® P 硅刻蝕設(shè)備是面向8英寸集成電路制造的量產(chǎn)型設(shè)備設(shè)備由電感耦合等離子體刻蝕腔(ICP etch cham...
    型號: Tebaank&#... 所在地:徐州市 參考價: 面議 更新時間:2025/6/5 21:24:03 對比
  • 12英寸金屬刻蝕設(shè)備

    Herent® Chimera® M 金屬刻蝕設(shè)備,為針對12英寸IC產(chǎn)業(yè)0.18微米以下后道高密度鋁導(dǎo)線互連工藝所開發(fā)的專用產(chǎn)品, 同時也...
    型號: Herent... 所在地:徐州市 參考價: 面議 更新時間:2025/6/5 21:22:06 對比
  • 12英寸硬掩膜刻蝕設(shè)備

    Herent® Chimera® A 金屬硬掩膜刻蝕設(shè)備,為針對 12 英寸 IC 產(chǎn)業(yè)的后道銅互連中氮化鈦(TiN)金屬硬掩膜刻蝕(met...
    型號: Herent... 所在地:徐州市 參考價: 面議 更新時間:2025/6/5 21:19:45 對比

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