渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動(dòng)量交換來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣作用的高真空泵。1958年由德國(guó)科學(xué)家貝克（W. Becker）研制成功，現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設(shè)備之一。渦輪分子泵通過(guò)轉(zhuǎn)子葉片以超音速（通常300-600m/s）運(yùn)動(dòng)，直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度，從而在進(jìn)氣口端產(chǎn)生高真空環(huán)境。

渦輪分子泵主要分為兩大類：

復(fù)合式渦輪分子泵：結(jié)合渦輪級(jí)和牽引級(jí)，具有更寬的工作壓力范圍

純渦輪分子泵：全部由渦輪葉片組成，在超高真空下性能更優(yōu)

現(xiàn)代渦輪分子泵通常由電機(jī)、轉(zhuǎn)子組件、軸承系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和外殼五大部分組成，采用精密動(dòng)平衡技術(shù)確保高速運(yùn)轉(zhuǎn)的穩(wěn)定性。

● 更緊湊的 ST 系列現(xiàn)已上市！

● 配備高壓縮渦輪分子泵 TG70F！

● 您可以根據(jù)排氣容器的大小從兩種類型的輔助泵

（隔膜泵）中進(jìn)行選擇！

● 桌面大小的節(jié)省空間設(shè)計(jì)！

● 非常適合研究設(shè)備的簡(jiǎn)單排氣系統(tǒng)！

渦輪分子泵的顯著特點(diǎn)

（一）結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)特征

多級(jí)渦輪葉片組（通常10-20級(jí)）

精密加工的鋁合金或鈦合金轉(zhuǎn)子

超精密軸承系統(tǒng)（陶瓷球軸承或磁懸浮軸承）

緊湊的模塊化設(shè)計(jì)

內(nèi)置智能控制系統(tǒng)

（二）性能參數(shù)特點(diǎn)

工作壓力范圍：10?3至10?11mbar

壓縮比高達(dá)101?（對(duì)氮?dú)猓?/p>

抽速范圍：10-5000L/s

啟動(dòng)時(shí)間短（3-15分鐘）

（三）運(yùn)行維護(hù)特點(diǎn)

需要前級(jí)泵（通常為旋片泵或干泵）支持

對(duì)振動(dòng)和沖擊敏感

定期軸承維護(hù)要求

自動(dòng)保護(hù)功能完善（過(guò)載、過(guò)熱等）