Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TGkineMI2200B

Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TGkineMI2200B

渦輪分子泵作為高真空技術(shù)的核心設(shè)備，其性能直接影響整個(gè)真空系統(tǒng)的表現(xiàn)。隨著中國(guó)在高科技領(lǐng)域的快速發(fā)展，渦輪分子泵的進(jìn)程正在加速，性能已逐步接近水平。在半導(dǎo)體設(shè)備自主可控的戰(zhàn)略背景下，渦輪分子泵的研發(fā)與制造已成為國(guó)家科技競(jìng)爭(zhēng)力的重要體現(xiàn)。

對(duì)于易發(fā)生反應(yīng)產(chǎn)物積累的器件，該系列采用我們的保溫結(jié)構(gòu)和自熱機(jī)構(gòu)，顯著降低反應(yīng)產(chǎn)物的沉積速率。

傳統(tǒng)磁浮軸承渦輪分子泵反應(yīng)產(chǎn)物的對(duì)策

一種加熱包括目標(biāo)部分在內(nèi)的整個(gè)周圍區(qū)域并分散熱量的方法。 它不能被有效地使用。

? 目標(biāo)區(qū)域外的熱效應(yīng)

TGkineMI-B 系列的措施

除了通過(guò)外部加熱器提高溫度外，還可以有效地利用泵內(nèi)部產(chǎn)生的吸入氣體產(chǎn)生的摩擦熱，有效地提高氣體接觸部分的溫度

，減少外部加熱器的輸出功率，提高節(jié)能效果！

?減少對(duì)主要部件的熱影響，減少對(duì)泵的損傷。

?保持最佳溫度，防止在排氣管中產(chǎn)生產(chǎn)品。

用

半導(dǎo)體、FPD、MEMS 制造等蝕刻設(shè)備

易產(chǎn)生反應(yīng)產(chǎn)物的工藝設(shè)備

真空泵是通過(guò)機(jī)械、物理或化學(xué)方法從密閉容器中抽出氣體以獲得真空環(huán)境的專業(yè)設(shè)備。根據(jù)工作原理和真空度范圍可分為：

機(jī)械真空泵

旋片泵（極限真空10?2 Pa）

螺桿泵（無(wú)油設(shè)計(jì)）

渦旋泵（低振動(dòng)）

分子泵

渦輪分子泵（10?? Pa）

復(fù)合分子泵

低溫泵

閉循環(huán)制冷型（10?1? Pa）

液氦冷卻型

特殊類型

離子濺射泵

吸附泵

擴(kuò)散泵